[实用新型]一种用于零位对准的光栅结构有效

专利信息
申请号: 201821059002.8 申请日: 2018-07-05
公开(公告)号: CN208297767U 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 周康;范小康;孙禹;严爽;王竹萍 申请(专利权)人: 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司
主分类号: G02B5/18 分类号: G02B5/18
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 代理人: 何蓉
地址: 430000 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型公开了一种用于零位对准的光栅结构,涉及精密加工技术领域,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;标尺光栅,所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置,其中,所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝,且所述标尺光栅上设置有N个凸台;将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜,所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上;在焦点处接收所述一级衍射光,并将光信号转化为电信号的探测器。通过上述装置解决了现有技术中的光栅零位对准的精度较低,难以装配的技术问题,达到了便于装配,对准精度高,对准距离较远的技术效果。
搜索关键词: 标尺光栅 扫描光栅 对准 一级衍射光 光栅结构 零位 凸透镜 反射 装配 精密加工技术 本实用新型 光信号转化 光栅 不透光区 光源发射 技术效果 相对设置 预设规则 预设周期 焦点处 平行光 透光区 探测器 凸台 聚焦
【主权项】:
1.一种用于零位对准的光栅结构,其特征在于,所述光栅结构包括:扫描光栅,所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上,且,所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区;标尺光栅,所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置,且,所述平行光经过所述扫描光栅之后,在所述标尺光栅表面产生反射和衍射,其中,所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝和N个凸台;将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜,所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上;在焦点处接收所述一级衍射光,并将光信号转化为电信号的探测器,所述探测器设置在聚焦后的所述一级衍射光的光路上。
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