[实用新型]一种用于零位对准的光栅结构有效
| 申请号： | 201821059002.8 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN208297767U | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 周康;范小康;孙禹;严爽;王竹萍 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷航天三江激光产业技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 何蓉 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 标尺光栅 扫描光栅 对准 一级衍射光 光栅结构 零位 凸透镜 反射 装配 精密加工技术 本实用新型 光信号转化 光栅 不透光区 光源发射 技术效果 相对设置 预设规则 预设周期 焦点处 平行光 透光区 探测器 凸台 聚焦 | ||
1.一种用于零位对准的光栅结构，其特征在于，所述光栅结构包括：
扫描光栅，所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上，且，所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区；
标尺光栅，所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置，且，所述平行光经过所述扫描光栅之后，在所述标尺光栅表面产生反射和衍射，其中，所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝和N个凸台；
将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜，所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上；
在焦点处接收所述一级衍射光，并将光信号转化为电信号的探测器，所述探测器设置在聚焦后的所述一级衍射光的光路上。
2.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述标尺光栅尺寸为5mm*10mm；所述扫描光栅尺寸为5mm*5mm。
3.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述扫描光栅的材质为玻璃板，且，所述玻璃板上具有一金属层。
4.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述扫描光栅按照129位编码方式排列，其中，所述透光区为编码为“1”的区域。
5.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述标尺光栅上刻蚀镀金属膜。
6.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述预设周期包括第一周期和第二周期，其中，所述第一周期和所述第二周期交替分布。
7.如权利要求6所述的光栅结构，其特征在于，所述第一周期为6μm，所述第二周期为16μm。
8.如权利要求7所述的光栅结构，其特征在于，所述标尺光栅按照129位编码方式排列，其中，刻缝周期为6μm对应的编码为“1”，刻缝周期为16μm对应的编码为“0”。
9.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述凸台的凸起高度为0.1582μm，占空比为0.5。
10.如权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，所述标尺光栅和所述扫描光栅之间的距离为0-21mm。
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