[实用新型]一种用于零位对准的光栅结构

说明书

本实用新型公开了一种用于零位对准的光栅结构，涉及精密加工技术领域，所述光栅结构包括：扫描光栅，所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上，且，所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区；标尺光栅，所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置，其中，所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝，且所述标尺光栅上设置有N个凸台；将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜，所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上；在焦点处接收所述一级衍射光，并将光信号转化为电信号的探测器。通过上述装置解决了现有技术中的光栅零位对准的精度较低，难以装配的技术问题，达到了便于装配，对准精度高，对准距离较远的技术效果。

技术领域

本实用新型属于精密加工技术领域，尤其涉及一种用于零位对准的光栅结构。

背景技术

由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件称为光栅。一般常用的光栅是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕为不透光部分，两刻痕之间的光滑部分可以透光，相当于一狭缝。精制的光栅，在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅，还有利用两刻痕间的反射光衍射的光栅，如在镀有金属层的表面上刻出许多平行刻痕，两刻痕间的光滑金属面可以反射光，这种光栅称为反射光栅。

但本申请发明人在实现本申请实施例中技术方案的过程中，发现上述现有技术至少存在如下技术问题：

现有技术中的光栅零位对准的精度较低，对准距离较近。

发明内容

本申请实施例通过提供一种用于零位对准的光栅结构，解决了现有技术中的光栅零位对准的精度较低，对准距离较近，难以装配的技术问题，达到了便于装配，对准精度高，对准距离较远的技术效果。

本实用新型实施例提供了一种用于零位对准的光栅结构，所述光栅结构包括：扫描光栅，所述扫描光栅设置在光源发射的平行光的光路上，且，所述扫描光栅包括按照预设规则排列的多个透光区和多个不透光区；标尺光栅，所述标尺光栅与所述扫描光栅相对设置，且，所述平行光经过所述扫描光栅之后，在所述标尺光栅表面产生反射和衍射，其中，所述标尺光栅包括按照预设周期排列的刻缝和N个凸台；将反射的一级衍射光进行聚焦的凸透镜，所述凸透镜设置在反射后的一级衍射光的光路上；在焦点处接收所述一级衍射光，并将光信号转化为电信号的探测器，所述探测器设置在聚焦后的所述一级衍射光的光路上。

优选的，所述标尺光栅尺寸为5mm*10mm；所述扫描光栅尺寸为 5mm*5mm。

优选的，所述扫描光栅的材质为玻璃板，且，所述玻璃板上具有一金属层。

优选的，所述扫描光栅按照129位编码方式排列，其中，所述透光区为编码为“1”的区域。

优选的，所述标尺光栅上刻蚀镀金属膜。

优选的，所述预设周期包括第一周期和第二周期，其中，所述第一周期和所述第二周期交替分布。

优选的，所述第一周期为6μm，所述第二周期为16μm。

优选的，所述标尺光栅按照129位编码方式排列，其中，刻缝周期为6μm 对应的编码为“1”，刻缝周期为16μm对应的编码为“0”。

优选的，所述凸台的凸起高度为0.1582μm，占空比为0.5。

优选的，所述标尺光栅和所述扫描光栅之间的距离为0-21mm。

本实用新型实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：