[实用新型]一种Parylene卧式内循环真空沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种Parylene卧式内循环真空沉积装置，涉及电镀技术领域，其特征在于，包括封闭滚桶，所述封闭滚桶中心穿过空心通轴，所述空心通轴在封闭滚桶内的部分设有至少4个气体出口。本实用新型突破了以往小孔径沉积笼的限制，气相活性单体直接由空心通轴向封闭滚桶内扩散，通过化学气相沉积的方式实现工件的Parylene膜涂覆，使得Parylene固体原料的利用率从30％提高的70％，大大的降低了成本，具有很好的市场推广空间。

主权项

1.一种Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，包括封闭滚桶（3），所述封闭滚桶（3）中心穿过空心通轴（2），所述空心通轴（2）在封闭滚桶（3）内的部分设有至少4个气体出口（11）。