[实用新型]一种Parylene卧式内循环真空沉积装置有效
| 申请号： | 201821044493.9 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208604205U | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张卫兴;张振兴;钱雪冰 | 申请（专利权）人： | 江苏可润光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 滚桶 空心通轴 封闭 真空沉积装置 本实用新型 内循环 电镀技术领域 化学气相沉积 固体原料 气体出口 气相活性 市场推广 中心穿过 小孔径 膜涂 沉积 扩散 | ||
1.一种Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，包括封闭滚桶（3），所述封闭滚桶（3）中心穿过空心通轴（2），所述空心通轴（2）在封闭滚桶（3）内的部分设有至少4个气体出口（11）。
2.根据权利要求1所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述气体出口（11）各自的表面积至少为20 cm2。
3.根据权利要求1所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述封闭滚桶（3）外设有驱动封闭滚桶（3）转动的从动齿轮（4），所述从动齿轮（4）连有主动齿轮（5）。
4.根据权利要求3所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述封闭滚桶（3）外罩有真空外壳（9），所述主动齿轮（5）固定于真空外壳（9）上。
5.根据权利要求1所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述空心通轴（2）一端连有进料管（6），另一端连有冷却管（7）。
6.根据权利要求5所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述进料管（6）与裂解管出口（1）连接。
7.根据权利要求5所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述冷却管（7）连有真空冷却系统连接管（8）。
8.根据权利要求1所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述空心通轴（2）两端分别设有支撑系统（10）。
9.根据权利要求1所述的Parylene卧式内循环真空沉积装置，其特征在于，所述封闭滚桶（3）采用塑料桶或不锈钢桶中的一种。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
