[实用新型]一种晶圆加工用自动卸料研磨机

摘要

本实用新型公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，包括底座，所述底座的一侧上方设置有支撑架，所述支撑架的一端底面设置有研磨用液压伸缩杆，所述研磨用液压伸缩杆的底面通过支架设置有研磨电机，所述研磨电机的底端设置有旋转杆，所述旋转杆的底端设置有研磨盘，所述研磨盘的下方设置有晶圆本体，所述晶圆本体的下方设置有输送带，所述输送带的下表面与底座的上表面接触，所述底座的上表面设置有滚珠，所述滚珠的一端贯穿底座的上表面到达底座的内部；研磨机的内部新增输送带，晶圆盘可以放置在输送带的上表面进行加工，在加工完毕之后可以通过输送带运输到下一道工序，在加工过程中不需要工作人员进行其他的操作，减少人工的劳动强度。

主权项

1.一种晶圆加工用自动卸料研磨机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的一侧上方设置有支撑架（2），所述支撑架（2）的一端底面设置有研磨用液压伸缩杆（3），所述研磨用液压伸缩杆（3）的底面通过支架设置有研磨电机（4），所述研磨电机（4）的底端设置有旋转杆（5），所述旋转杆（5）的底端设置有研磨盘（6），所述研磨盘（6）的下方设置有晶圆本体（8），所述晶圆本体（8）的下方设置有输送带（9），所述输送带（9）的下表面与底座（1）的上表面接触，所述底座（1）的上表面设置有滚珠（14），所述滚珠（14）的一端贯穿底座（1）的上表面到达底座（1）的内部，所述滚珠（14）的上表面与输送带（9）的下表面接触，所述输送带（9）的上表面放置有晶圆固定托盘（11），所述晶圆固定托盘（11）的上表面放置有晶圆本体（8）。