[实用新型]一种晶圆加工用自动卸料研磨机

权利要求书

1.一种晶圆加工用自动卸料研磨机，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的一侧上方设置有支撑架（2），所述支撑架（2）的一端底面设置有研磨用液压伸缩杆（3），所述研磨用液压伸缩杆（3）的底面通过支架设置有研磨电机（4），所述研磨电机（4）的底端设置有旋转杆（5），所述旋转杆（5）的底端设置有研磨盘（6），所述研磨盘（6）的下方设置有晶圆本体（8），所述晶圆本体（8）的下方设置有输送带（9），所述输送带（9）的下表面与底座（1）的上表面接触，所述底座（1）的上表面设置有滚珠（14），所述滚珠（14）的一端贯穿底座（1）的上表面到达底座（1）的内部，所述滚珠（14）的上表面与输送带（9）的下表面接触，所述输送带（9）的上表面放置有晶圆固定托盘（11），所述晶圆固定托盘（11）的上表面放置有晶圆本体（8）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述底座（1）的两侧表面设置有支架，所述支架的一侧表面设置有固定用液压伸缩杆（10），所述固定用液压伸缩杆（10）的一端与支架相连接，所述支架的另一端设置有晶圆固定夹（7）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述晶圆固定夹（7）的一侧设置有橡胶限位圈（12），所述橡胶限位圈（12）与晶圆本体（8）的外侧表面相接触，所述晶圆固定夹（7）的内部设置有出屑孔（13），所述出屑孔（13）贯穿晶圆固定夹（7）的内部到达晶圆固定夹（7）的两侧表面。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述研磨盘（6）设置在晶圆本体（8）的正上方，所述研磨盘（6）的大小与晶圆本体（8）的大小一致。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其特征在于：所述底座（1）的上表面对称设置有两个晶圆固定夹（7），所述两个晶圆固定夹（7）的另一端都设置有一个固定用液压伸缩杆（10）。