[实用新型]一种碳化硅籽晶片的粘合装置

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅籽晶片的粘合装置，包括底板，腔体的内部固定安装有伺服电机，伺底座的顶端设有加热板，加热板的顶端设有石墨盖，第一滑槽的内部滑动连接有限位杆，第二支板的顶端设有光学显微镜，底板顶端的另一侧设有箱体，箱体的内部开设有碳胶室和压块室，本实用新型一种碳化硅籽晶片的粘合装置，利用加热板加热放于石墨盖上的碳胶，伺服电机带动底座旋转，使得碳胶能够均匀的分布在石墨盖上，放上籽晶片后，再利用重量加压的方式，把残余空气排掉，让籽晶片能够紧密地与石墨盖粘合在一起，使得热能传递更加均匀，改善因温度不均匀造成的缺陷形成。

主权项

1.一种碳化硅籽晶片的粘合装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的内部开设有腔体(15)，所述腔体(15)的内部固定安装有伺服电机(18)，所述伺服电机(18)的输出轴固定连接有底座(5)，所述底座(5)的顶端设有加热板(8)，所述加热板(8)的顶端设有石墨盖(9)，所述底座(5)的两侧均设有支块(6)，所述支块(6)的两侧均开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有限位杆(7)，所述底板(1)顶端的一侧设有滑轨(16)，所述滑轨(16)上滑动连接有支撑杆(13)，所述支撑杆(13)底部的一侧设有第一支板(14)，所述第一支板(14)的顶端设有液压缸(12)，所述支撑杆(13)的一侧开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部滑动连接有第二支板(11)，所述第二支板(11)的底端与液压缸(12)的输出轴固定连接，所述第二支板(11)的顶端设有光学显微镜(10)，所述底板(1)顶端的另一侧设有箱体(2)，所述箱体(2)的内部开设有碳胶室(3)和压块室(4)。