[实用新型]一种碳化硅籽晶片的粘合装置有效
| 申请号： | 201821020049.3 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208379052U | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 廖弘基;张洁;陈华荣 | 申请（专利权）人： | 福建北电新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 362211 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨盖 碳化硅籽晶 粘合装置 加热板 碳胶 本实用新型 伺服电机 籽晶片 底座 底板 光学显微镜 残余空气 底板顶端 滑动连接 内部固定 热能传递 不均匀 再利用 粘合 滑槽 腔体 位杆 压块 支板 加热 加压 | ||
1.一种碳化硅籽晶片的粘合装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的内部开设有腔体(15)，所述腔体(15)的内部固定安装有伺服电机(18)，所述伺服电机(18)的输出轴固定连接有底座(5)，所述底座(5)的顶端设有加热板(8)，所述加热板(8)的顶端设有石墨盖(9)，所述底座(5)的两侧均设有支块(6)，所述支块(6)的两侧均开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内部滑动连接有限位杆(7)，所述底板(1)顶端的一侧设有滑轨(16)，所述滑轨(16)上滑动连接有支撑杆(13)，所述支撑杆(13)底部的一侧设有第一支板(14)，所述第一支板(14)的顶端设有液压缸(12)，所述支撑杆(13)的一侧开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部滑动连接有第二支板(11)，所述第二支板(11)的底端与液压缸(12)的输出轴固定连接，所述第二支板(11)的顶端设有光学显微镜(10)，所述底板(1)顶端的另一侧设有箱体(2)，所述箱体(2)的内部开设有碳胶室(3)和压块室(4)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶片的粘合装置，其特征在于：所述限位杆(7)的一侧设有定位螺杆。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶片的粘合装置，其特征在于：所述底板(1)的一侧设有控制面板(17)，所述控制面板(17)上设有第一开关、第二开关和第三开关，所述伺服电机(18)通过第一电机与外接电源电性连接，所述液压缸(12)通过第二开关与外接电源电性连接，所述加热板(8)通过第三开关与外接电源电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶片的粘合装置，其特征在于：所述压块室(4)的内部放置有压块，所述碳胶室(3)的内部放置有碳胶。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建北电新材料科技有限公司，未经福建北电新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821020049.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种生长单晶金刚石的生长结构
- 下一篇：一种单晶硅片退火冷却箱
