[实用新型]一种半导体运输系统

摘要

本实用新型公开了一种半导体运输系统，通过运输机构承载待运输件(下底板)，并沿导轨机构往复运动，当运输机构沿导轨机构运动至指定位置时，通过抬升机构将运输机构上的待运输件进行抬升，从而实现对待运输件的运输，便于待运输件的安装、维护及更换等后续操作，使用方便快捷；而且，通过控制器统一控制，可实现全自动定位、移动和提升，大大提高了生产效率。

主权项

1.一种半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统包括：导轨机构；设置在所述导轨机构上的运输机构，用于放置待运输件，且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动；抬升机构，当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时，所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。