[实用新型]一种半导体运输系统

权利要求书

1.一种半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统包括：

导轨机构；

设置在所述导轨机构上的运输机构，用于放置待运输件，且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动；

抬升机构，当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时，所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。

2.根据权利要求1所述的半导体运输系统，其特征在于，所述导轨机构包括平行设置的平面导轨和V型导轨。

3.根据权利要求2所述的半导体运输系统，其特征在于，所述导轨机构还包括轨道平台构架，所述平面导轨和V型导轨均嵌装在所述轨道平台构架中。

4.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述运输机构包括：

支撑框架；

设置在支撑框架上的多个立柱，所述立柱顶部用于支撑待运输件；

设置在支撑框架底部的平面导轮和V型导轮，分别用于与平面导轨、V型导轨配合。

5.根据权利要求4所述的半导体运输系统，其特征在于，所述运输机构还包括用于驱动运输机构运动的驱动机构。

6.根据权利要求5所述的半导体运输系统，其特征在于，所述驱动机构包括：

设置在轨道平台构架上的伺服电机；

与伺服电机依次连接的减速器、联轴器、丝杠；

设置在联轴器与丝杠之间的支撑座，所述支撑座固定在轨道平台构架上，所述联轴器穿过所述支撑座与丝杠连接；

导向螺母，设置在支撑框架上，所述丝杠穿设在所述导向螺母内，用于与导向螺母螺纹配合。

7.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述抬升机构包括：可上下运动的抬升支架，用于将运输机构上的待运输件进行抬升。

8.根据权利要求7所述的半导体运输系统，其特征在于，所述抬升机构还包括：设置在轨道平台构架上的导向支架，所述抬升支架与导向支架接触并配合，导向支架用于对抬升支架上下运动进行导向限位。

9.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的限位机构。

10.根据权利要求3所述的半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的接近传感器。

11.根据权利要求1所述的半导体运输系统，其特征在于，所述半导体运输系统还包括控制器，所述控制器分别与运输机构、抬升机构连接。