[实用新型]一种半导体运输系统

说明书

本实用新型公开了一种半导体运输系统，通过运输机构承载待运输件(下底板)，并沿导轨机构往复运动，当运输机构沿导轨机构运动至指定位置时，通过抬升机构将运输机构上的待运输件进行抬升，从而实现对待运输件的运输，便于待运输件的安装、维护及更换等后续操作，使用方便快捷；而且，通过控制器统一控制，可实现全自动定位、移动和提升，大大提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种半导体运输系统。

背景技术

目前半导体行业在中国正处在高速发展阶段，而半导体相关的制造设备至关重要。金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方面相关设备相对复杂，且零部件的体积和重量都相对较大，从目前来看，市场上缺乏一种针对下底板的运输系统，从而无法满足市场需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体运输系统，以解决现有技术中的问题，实现对下底板的运输。

本实用新型提供一种半导体运输系统，所述半导体运输系统包括：

导轨机构；

设置在所述导轨机构上的运输机构，用于放置待运输件，且所述运输机构可沿所述导轨机构往复运动；

抬升机构，当所述运输机构沿所述导轨机构运动至指定位置时，所述抬升机构用于将运输机构上的待运输件进行抬升。

可选择的，所述导轨机构包括平行设置的平面导轨和V型导轨。

可选择的，所述导轨机构还包括轨道平台构架，所述平面导轨和V型导轨均嵌装在所述轨道平台构架中。

可选择的，所述运输机构包括：

支撑框架；

设置在支撑框架上的多个立柱，所述立柱顶部用于支撑待运输件；

设置在支撑框架底部的平面导轮和V型导轮，分别用于与平面导轨、V型导轨配合。

可选择的，所述运输机构还包括用于驱动运输机构运动的驱动机构。

可选择的，所述驱动机构包括：

设置在轨道平台构架上的伺服电机；

与伺服电机依次连接的减速器、联轴器、丝杠；

设置在联轴器与丝杠之间的支撑座，所述支撑座固定在轨道平台构架上，所述联轴器穿过所述支撑座与丝杠连接；

导向螺母，设置在支撑框架上，所述丝杠穿设在所述导向螺母内，用于与导向螺母螺纹配合。

可选择的，所述抬升机构包括：可上下运动的抬升支架，用于将运输机构上的待运输件进行抬升。

可选择的，所述抬升机构还包括：设置在轨道平台构架上的导向支架，所述抬升支架与导向支架接触并配合，导向支架用于对抬升支架上下运动进行导向限位。

可选择的，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的限位机构。

可选择的，所述半导体运输系统还包括设置在平面导轨和/或V型导轨和/或轨道平台构架上的接近传感器。

可选择的，所述半导体运输系统还包括控制器，所述控制器分别与运输机构、抬升机构连接。

本实用新型提供的半导体运输系统，通过运输机构承载待运输件(下底板)，并沿导轨机构往复运动，当运输机构沿导轨机构运动至指定位置时，通过抬升机构将运输机构上的待运输件进行抬升，从而实现对待运输件的运输，便于待运输件的安装、维护及更换等后续操作，使用方便快捷；而且，通过控制器统一控制，可实现全自动定位、移动和提升，大大提高了生产效率。

附图说明