[实用新型]蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821014139.1 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN208485941U | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 赵坤 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张乐乐 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置，其中安装结构包括第一永磁体、软磁材料区域。软磁材料区域与第一永磁体相对设置，且相互面对的一端可拆卸地吸附连接；第一永磁体和软磁材料区域分别分布在待固定的两个部件上；两个部件为蒸镀腔室的内壁面和蒸镀内衬的朝向蒸镀腔室内壁面一侧的表面。安装结构包括第一永磁体和第二永磁体，对称设置于蒸镀内衬的朝向蒸镀腔室内壁面一侧的表面与蒸镀腔室的内壁面上，且相对一端极性相反。通过永磁体的磁吸力，将蒸镀内衬与蒸镀腔室内壁面吸附在一起，从而完成蒸镀内衬的安装，提高安装效率。蒸镀装置包括蒸镀腔室、蒸镀内衬和上述任一安装结构，可以有效提高蒸镀内衬的安装效率。 | ||
| 搜索关键词： | 内衬 蒸镀 永磁体 安装结构 室内壁面 蒸镀腔室 蒸镀装置 蒸镀腔 安装效率 软磁材料 本实用新型 对称设置 极性相反 吸附连接 相对设置 磁材料 磁吸力 固定的 可拆卸 内壁面 内壁 吸附 | ||
【主权项】：
1.蒸镀内衬的安装结构，其特征在于，包括至少一个第一永磁体(1)；软磁材料区域(2)，所述软磁材料区域(2)与所述第一永磁体(1)相对设置，且相互面对的一端可拆卸地吸附连接；所述至少一个第一永磁体(1)和所述软磁材料区域(2)分别分布在待固定的两个部件上；所述两个部件为蒸镀腔室的内壁面(6)和所述蒸镀内衬(5)的朝向所述蒸镀腔室内壁面(6)一侧的表面。
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