[实用新型]蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置

说明书

本实用新型公开一种蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置，其中安装结构包括第一永磁体、软磁材料区域。软磁材料区域与第一永磁体相对设置，且相互面对的一端可拆卸地吸附连接；第一永磁体和软磁材料区域分别分布在待固定的两个部件上；两个部件为蒸镀腔室的内壁面和蒸镀内衬的朝向蒸镀腔室内壁面一侧的表面。安装结构包括第一永磁体和第二永磁体，对称设置于蒸镀内衬的朝向蒸镀腔室内壁面一侧的表面与蒸镀腔室的内壁面上，且相对一端极性相反。通过永磁体的磁吸力，将蒸镀内衬与蒸镀腔室内壁面吸附在一起，从而完成蒸镀内衬的安装，提高安装效率。蒸镀装置包括蒸镀腔室、蒸镀内衬和上述任一安装结构，可以有效提高蒸镀内衬的安装效率。

技术领域

本发明涉及蒸镀工艺领域，具体涉及蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置。

背景技术

蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。在蒸镀前，需要将内衬安装在蒸镀腔室内，以用于待蒸镀对象的设置。

目前，蒸镀内衬通过螺栓组件固定在蒸镀腔室内壁上，由于蒸镀内衬形状各异，人员安装费时费力；同时，蒸镀腔室的内衬因工艺需求，需要经常更换，多次拆卸和安装螺栓组件会导致螺栓断裂在腔室内，无法取出，相应的内衬也就无法安装，大大降低了安装效率。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中内衬的安装结构，导致内衬安装或拆卸不方便，内衬安装效率低的问题。

为此，本实用新型提供蒸镀内衬的安装结构，包括

至少一个第一永磁体；

软磁材料区域，与所述第一永磁体相对设置，且相互面对的一端可拆卸地吸附连接；

所述至少一个第一永磁体和所述软磁材料区域分别分布在待固定的两个部件上；所述两个部件为蒸镀腔室的内壁面和所述蒸镀内衬的朝向所述蒸镀腔室内壁面一侧的表面。

优选地，上述的蒸镀内衬的安装结构，所述软磁材料区域为凸起；

所述凸起设置在所述蒸镀腔室的内壁面上，对应地所述第一永磁体固定在所述蒸镀内衬的朝向所述蒸镀腔室的一侧表面上；或者

所述凸起设置在所述蒸镀内衬的朝向所述蒸镀腔室的一侧表面上，对应地所述第一永磁体固定在所述蒸镀腔室的内壁面上。

进一步优选地，上述的蒸镀内衬的安装结构，所述软磁材料区域采用钢材质制成。

优选地，上述的蒸镀内衬的安装结构，还包括可拆卸地吸附在所述软磁材料区域上的第二永磁体，所述第二永磁体与所述第一永磁体相互面对的一端极性相反。

进一步优选地，上述的蒸镀内衬的安装结构，所述第一永磁体为至少两个，所有所述第一永磁体均匀分布在所述蒸镀腔室的内壁面上或蒸镀内衬的朝向所述蒸镀腔室内壁面一侧的表面上。

更佳优选地，上述的蒸镀内衬的安装结构，还包括设置在所述蒸镀内衬一侧表面上的标记图案和/或编码，用于标识该所述蒸镀内衬。

进一步优选地，上述的蒸镀内衬的安装结构，所述标记图案的形状与该所述蒸镀内衬的形状一致。

本实用新型提供蒸镀内衬的安装结构，包括

至少一个第一永磁体；

第二永磁体，与所述第一永磁体相对设置，且相互面对的一端极性相反；

所述至少一个第一永磁体和所述第二永磁体分别分布在待固定的两个部件上；所述两个部件为蒸镀腔室的内壁面和所述蒸镀内衬的朝向所述蒸镀腔室内壁面一侧的表面。

本实用新型还提供蒸镀装置，包括

蒸镀腔室，具有内腔；

蒸镀内衬，为至少一个；