[实用新型]蒸镀内衬的安装结构及蒸镀装置

权利要求书

1.蒸镀内衬的安装结构，其特征在于，包括

至少一个第一永磁体(1)；

软磁材料区域(2)，所述软磁材料区域(2)与所述第一永磁体(1)相对设置，且相互面对的一端可拆卸地吸附连接；

所述至少一个第一永磁体(1)和所述软磁材料区域(2)分别分布在待固定的两个部件上；所述两个部件为蒸镀腔室的内壁面(6)和所述蒸镀内衬(5)的朝向所述蒸镀腔室内壁面(6)一侧的表面。

2.根据权利要求1所述的蒸镀内衬的安装结构，其特征在于：所述软磁材料区域(2)为凸起；

所述凸起设置在所述蒸镀腔室的内壁面(6)上，对应地所述第一永磁体(1)固定在所述蒸镀内衬(5)的朝向所述蒸镀腔室的一侧表面上；或者

所述凸起设置在所述蒸镀内衬(5)的朝向所述蒸镀腔室的一侧表面上，对应地所述第一永磁体(1)固定在所述蒸镀腔室的内壁面(6)上。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀内衬的安装结构，其特征在于：所述软磁材料区域(2)采用钢材质制成。

4.根据权利要求1所述的蒸镀内衬的安装结构，其特征在于：还包括可拆卸地吸附在所述软磁材料区域(2)上的第二永磁体(3)，所述第二永磁体(3)与所述第一永磁体(1)相互面对的一端极性相反。

5.根据权利要求1或2或4所述的蒸镀内衬的安装结构，其特征在于：所述第一永磁体(1)为至少两个，所有所述第一永磁体(1)均匀分布在所述蒸镀腔室的内壁面(6)上或蒸镀内衬(5)的朝向所述蒸镀腔室内壁面(6)一侧的表面上。

6.根据权利要求1或2或4所述的蒸镀内衬的安装结构，其特征在于：还包括设置在所述蒸镀内衬(5)一侧表面上的标记图案和/或编码(4)，所述标记图案和/或编码(4)用于标识该所述蒸镀内衬(5)。

7.根据权利要求6所述的蒸镀内衬的安装结构，其特征在于：所述标记图案的形状与该所述蒸镀内衬(5)的形状一致。

8.蒸镀内衬的安装结构，其特征在于，包括

至少一个第一永磁体(1)；

第二永磁体(3)，与所述第一永磁体(1)相对设置，且相互面对的一端极性相反；

所述至少一个第一永磁体(1)和所述第二永磁体(3)分别分布在待固定的两个部件上；所述两个部件为蒸镀腔室的内壁面(6)和所述蒸镀内衬(5)的朝向所述蒸镀腔室内壁面(6)一侧的表面。

9.蒸镀装置，其特征在于，包括

蒸镀腔室，所述蒸镀腔室具有内腔；

蒸镀内衬(5)，所述蒸镀内衬(5)为至少一个；

至少一个权利要求1-8中任一项所述的蒸镀内衬的安装结构，与所述蒸镀内衬(5)一一对应，用于将所述蒸镀内衬(5)拼接并可拆卸地吸附在所述蒸镀腔室的内壁面(6)上。