[实用新型]缓蚀剂膜性能的监测装置

摘要

本实用新型公开了缓蚀剂膜性能的监测装置，包括管体，管体的内壁附着有缓蚀剂模，管体的两侧开设有对称设置的凹槽，凹槽的内壁开设有通孔，通孔的内壁活动套接有与缓蚀剂模表面抵触的电极探头，电极探头的外圈固定套接有防护套，防护套的外圈固定套接有位于凹槽内部的固定板，防护套伸出凹槽一端的外圈固定套接有限位板，限位板顶部的两端开设有沿竖直方向设置的活动孔，活动孔的内壁活动套接有螺纹杆，且螺纹杆的底端焊接在管体的外壁上，限位板的下方设有与螺纹杆外圈活动套接的活动板，本实用新型，在各部件的配合下，能够很好的对缓蚀剂模的性能进行监测，同时又方便对电极探头的更换与维修，防止其损坏而不能正常工作。

主权项

1.缓蚀剂膜性能的监测装置，包括管体(1)，其特征在于，所述管体(1)的内壁附着有缓蚀剂模(2)，所述管体(1)的两侧开设有对称设置的凹槽，凹槽的内壁开设有通孔，通孔的内壁活动套接有与缓蚀剂模(2)表面抵触的电极探头(3)，所述电极探头(3)的外圈固定套接有防护套(4)，所述防护套(4)的外圈固定套接有位于凹槽内部的固定板(5)，所述防护套(4)伸出凹槽一端的外圈固定套接有限位板(7)，所述限位板(7)顶部的两端开设有沿竖直方向设置的活动孔，活动孔的内壁活动套接有螺纹杆(8)，且螺纹杆(8)的底端焊接在管体(1)的外壁上，所述限位板(7)的下方设有与螺纹杆(8)外圈活动套接的活动板(9)，所述活动板(9)靠近防护套(4)一端的顶部转动连接有沿竖直方向设置的限制杆(10)，所述限制杆(10)伸出限位板(7)顶部的一端焊接有卡杆(11)，所述活动板(9)的底部焊接有连接板，连接板的底部转动连接有与螺纹杆(8)螺纹连接的转盘(12)。