[实用新型]缓蚀剂膜性能的监测装置

权利要求书

1.缓蚀剂膜性能的监测装置，包括管体(1)，其特征在于，所述管体(1)的内壁附着有缓蚀剂模(2)，所述管体(1)的两侧开设有对称设置的凹槽，凹槽的内壁开设有通孔，通孔的内壁活动套接有与缓蚀剂模(2)表面抵触的电极探头(3)，所述电极探头(3)的外圈固定套接有防护套(4)，所述防护套(4)的外圈固定套接有位于凹槽内部的固定板(5)，所述防护套(4)伸出凹槽一端的外圈固定套接有限位板(7)，所述限位板(7)顶部的两端开设有沿竖直方向设置的活动孔，活动孔的内壁活动套接有螺纹杆(8)，且螺纹杆(8)的底端焊接在管体(1)的外壁上，所述限位板(7)的下方设有与螺纹杆(8)外圈活动套接的活动板(9)，所述活动板(9)靠近防护套(4)一端的顶部转动连接有沿竖直方向设置的限制杆(10)，所述限制杆(10)伸出限位板(7)顶部的一端焊接有卡杆(11)，所述活动板(9)的底部焊接有连接板，连接板的底部转动连接有与螺纹杆(8)螺纹连接的转盘(12)。

2.根据权利要求1所述的缓蚀剂膜性能的监测装置，其特征在于，所述固定板(5)的底部设有与防护套(4)套接的密封垫。

3.根据权利要求1所述的缓蚀剂膜性能的监测装置，其特征在于，所述活动板(9)一端的顶部开设有连接孔，且螺纹杆(8)位于连接孔的内部，且连接孔的内径大于螺纹杆(8)的直径。

4.根据权利要求1所述的缓蚀剂膜性能的监测装置，其特征在于，所述限位板(7)的顶部沿竖直方向开设有对称设置的卡孔，卡孔的两侧开设有对称设置的卡槽(14)，且卡孔的长度大于卡杆(11)的长度，卡孔的宽度小于卡杆(11)的长度，且卡杆(11)卡接在卡槽(14)的内部。

5.根据权利要求1所述的缓蚀剂膜性能的监测装置，其特征在于，所述转盘(12)的两侧焊接有T型结构的握杆(13)，握杆(13)上套设有橡胶套。