[实用新型]一种用于织物的磁控溅射镀膜系统有效
| 申请号： | 201820965747.4 | 申请日： | 2018-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN209602632U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 余荣沾;王忠雨;蔡东锋;陈卫中;张欣;王克宁 | 申请（专利权）人： | 广东欣丰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;D06B1/00;D06B15/00;D06B23/04;D06B23/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 529000 广东省江门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于织物的磁控溅射镀膜系统，包括依次相连的放卷室、烘干室、镀膜装置和收卷室，所述放卷室、烘干室、镀膜装置和收卷室均与抽真空设备相连，所述放卷室、烘干室、镀膜装置和收卷室中均设有多个用于运送织物的导辊，所述导辊与驱动设备相连，所述织物在所述导辊的驱动下沿相同的方向转动，以将所述织物由所述放卷室运送至所述收卷室中；其中，所述烘干室内设有加热装置。本实用新型的磁控溅射镀膜室能够适用于织物的大批量流水线生产。 | ||
| 搜索关键词： | 放卷室 收卷室 磁控溅射镀膜 镀膜装置 烘干室 导辊 运送 本实用新型 抽真空设备 流水线生产 方向转动 加热装置 驱动设备 依次相连 烘干 下沿 室内 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种用于织物的磁控溅射镀膜系统，其特征在于，包括依次相连的放卷室、烘干室、镀膜装置和收卷室，所述放卷室、烘干室、镀膜装置和收卷室均与抽真空设备相连，所述放卷室、烘干室、镀膜装置和收卷室中均设有多个用于运送织物的导辊，所述导辊与驱动设备相连，所述织物在所述导辊的驱动下沿相同的方向转动，以将所述织物由所述放卷室运送至所述收卷室中；所述镀膜装置包括多个串联的镀膜室，相邻的所述磁控溅射镀膜室之间设有真空隔离室；所述镀膜室的壳体相对的两侧壁上分别设有织物入口和织物出口，内部设有镀膜辊，所述镀膜辊的下方还设有多个溅射源，多个所述溅射源与所述镀膜辊之间形成镀膜间隙；所述烘干室内部设有加热装置和若干导辊，其中，所述加热装置设置在烘干室相对的两内壁上，所述烘干室上设有缝隙，织物从其中一个缝隙进入烘干室，从另一缝隙穿出所述烘干室。
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