[实用新型]一种晶体键合夹具有效

专利信息
申请号: 201820865517.0 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN208271864U 公开(公告)日: 2018-12-21
发明(设计)人: 田鹏;高占成 申请(专利权)人: 北京椿树电子材料有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100031 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型公开了一种晶体键合夹具,包括支撑板和顶板,所述支撑板和顶板之间通过液压气缸连接,所述支撑板表面设有第一键合框和第二键合框,所述第一键合框和第二键合框内壁两侧均设有固定块,所述第一键合框内固定块的上方设有第一承压板,所述第二键合框内固定块的上方设有第二承压板,所述第一承压板和第二承压板底面与支撑板之间设有液压伸缩缸,第一承压板和第二承压板表面两端均设有立板,所述立板远离滑块一侧设有夹紧板,顶板底面设有第一键合压板和第二键合压板,第一键合压板和第二键合压板均通过支撑杆与顶板底面连接,本实用新型,晶体摆放、取拿方便,夹具运作一次能够将两组晶体同时进行键合,键合效率高。
搜索关键词: 键合 承压板 压板 夹具 支撑板 本实用新型 顶板底面 晶体键合 内固定块 立板 承压板表面 液压伸缩缸 支撑板表面 内壁两侧 液压气缸 固定块 夹紧板 支撑杆 底面 滑块 两组 摆放 运作
【主权项】:
1.一种晶体键合夹具,包括支撑板(8)和顶板(5),其特征在于:所述支撑板(8)和顶板(5)之间通过液压气缸(1)连接,所述液压气缸(1)固定安装在支撑板(8)表面两端,所述支撑板(8)表面设有第一键合框(9)和第二键合框(13),所述第一键合框(9)位于第二键合框(13)一侧,所述第一键合框(9)和第二键合框(13)内壁两侧均设有固定块(10),所述第一键合框(9)内固定块(10)的上方设有第一承压板(12),所述第二键合框(13)内固定块(10)的上方设有第二承压板(14),所述第一承压板(12)和第二承压板(14)底面与支撑板(8)之间设有液压伸缩缸(11),所述第一承压板(12)和第二承压板(14)表面两端均设有立板(16),所述立板(16)一侧通过滑块(15)与第一键合框(9)、第二键合框(13)之间滑动连接,所述立板(16)远离滑块(15)一侧设有夹紧板(18),所述夹紧板(18)与立板(16)之间通过弹簧(17)连接,所述顶板(5)底面设有第一键合压板(2)和第二键合压板(6),所述第一键合压板(2)位于第二键合压板(6)的一侧,所述第一键合压板(2)和第二键合压板(6)均通过支撑杆(3)与顶板(5)底面连接,所述支撑板(8)底端设有底座(7)。
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