[实用新型]一种晶体键合夹具

权利要求书

1.一种晶体键合夹具，包括支撑板（8）和顶板（5），其特征在于：所述支撑板（8）和顶板（5）之间通过液压气缸（1）连接，所述液压气缸（1）固定安装在支撑板（8）表面两端，所述支撑板（8）表面设有第一键合框（9）和第二键合框（13），所述第一键合框（9）位于第二键合框（13）一侧，所述第一键合框（9）和第二键合框（13）内壁两侧均设有固定块（10），所述第一键合框（9）内固定块（10）的上方设有第一承压板（12），所述第二键合框（13）内固定块（10）的上方设有第二承压板（14），所述第一承压板（12）和第二承压板（14）底面与支撑板（8）之间设有液压伸缩缸（11），所述第一承压板（12）和第二承压板（14）表面两端均设有立板（16），所述立板（16）一侧通过滑块（15）与第一键合框（9）、第二键合框（13）之间滑动连接，所述立板（16）远离滑块（15）一侧设有夹紧板（18），所述夹紧板（18）与立板（16）之间通过弹簧（17）连接，所述顶板（5）底面设有第一键合压板（2）和第二键合压板（6），所述第一键合压板（2）位于第二键合压板（6）的一侧，所述第一键合压板（2）和第二键合压板（6）均通过支撑杆（3）与顶板（5）底面连接，所述支撑板（8）底端设有底座（7）。

2.根据权利要求1所述一种晶体键合夹具，其特征在于：所述第一键合压板（2）、第二键合压板（6）的底面大小略小于第一键合框（9）、第二键合框（13）的开口大小。

3.根据权利要求1所述一种晶体键合夹具，其特征在于：所述第一键合压板（2）位于第一键合框（9）的正上方，所述第二键合压板（6）位于第二键合框（13）的正上方，所述第一键合压板（2）和第二键合压板（6）上均设有内凹口（19）。

4.根据权利要求1所述一种晶体键合夹具，其特征在于：所述第一键合框（9）和第二键合框（13）结构相同，所述第一键合框（9）和第二键合框（13）内壁两侧上端均设有供滑块（15）滑动的滑槽（20）。

5.根据权利要求1所述一种晶体键合夹具，其特征在于：所述第一承压板（12）、第二承压板（14）的表面和第一键合压板（2）、第二键合压板（6）的底面均设有棉垫（4）。