[实用新型]一种组合式磁控溅射靶材

摘要

本实用新型公开了一种组合式磁控溅射靶材，包括基板、靶材板和外固套，所述基板的下方固定有电磁板，且电磁板的内部设置有线圈，所述基板的上方安装有支座，所述靶材板的外侧壁设置有侧滑槽，且靶材板位于支座的上方，所述靶材板的中间贯穿有连接螺杆，且连接螺杆的外侧安装有紧固螺母，所述靶材板的上表面分别设置有第一环轨和活动凹槽，且活动凹槽位于第一环轨的内侧，所述第一环轨的上表面设置有单元面板，所述外固套的内表面分别设置有活动槽和环槽，且外固套位于嵌块靠外的一侧。该组合式磁控溅射靶材具有较高的组合集成结构，结构可变形，能够提供多种靶材基材，并进行多种情况下的磁控溅射过程，自身能够产生环形磁场。

主权项

1.一种组合式磁控溅射靶材，包括基板(1)、靶材板(5)和外固套(15)，其特征在于：所述基板(1)的下方固定有电磁板(2)，且电磁板(2)的内部设置有线圈(3)，所述基板(1)的上方安装有支座(4)，所述靶材板(5)的外侧壁设置有侧滑槽(6)，且靶材板(5)位于支座(4)的上方，所述靶材板(5)的中间贯穿有连接螺杆(7)，且连接螺杆(7)的外侧安装有紧固螺母(8)，所述靶材板(5)的上表面分别设置有第一环轨(9)和活动凹槽(11)，且活动凹槽(11)位于第一环轨(9)的内侧，所述第一环轨(9)的上表面设置有单元面板(10)，且活动凹槽(11)的表面固定有第二环轨(12)，所述第二环轨(12)的上表面设置有活动面板(13)，所述靶材板(5)的左右两侧均安装有嵌块(14)，所述外固套(15)的内表面分别设置有活动槽(16)和环槽(17)，且外固套(15)位于嵌块(14)靠外的一侧，所述活动槽(16)和环槽(17)之间为垂直交错设置，且外固套(15)的外侧壁固定有卡扣(18)。