[实用新型]一种组合式磁控溅射靶材

权利要求书

1.一种组合式磁控溅射靶材，包括基板(1)、靶材板(5)和外固套(15)，其特征在于：所述基板(1)的下方固定有电磁板(2)，且电磁板(2)的内部设置有线圈(3)，所述基板(1)的上方安装有支座(4)，所述靶材板(5)的外侧壁设置有侧滑槽(6)，且靶材板(5)位于支座(4)的上方，所述靶材板(5)的中间贯穿有连接螺杆(7)，且连接螺杆(7)的外侧安装有紧固螺母(8)，所述靶材板(5)的上表面分别设置有第一环轨(9)和活动凹槽(11)，且活动凹槽(11)位于第一环轨(9)的内侧，所述第一环轨(9)的上表面设置有单元面板(10)，且活动凹槽(11)的表面固定有第二环轨(12)，所述第二环轨(12)的上表面设置有活动面板(13)，所述靶材板(5)的左右两侧均安装有嵌块(14)，所述外固套(15)的内表面分别设置有活动槽(16)和环槽(17)，且外固套(15)位于嵌块(14)靠外的一侧，所述活动槽(16)和环槽(17)之间为垂直交错设置，且外固套(15)的外侧壁固定有卡扣(18)。

2.根据权利要求1所述的一种组合式磁控溅射靶材，其特征在于：所述线圈(3)呈盘旋状设置在电磁板(2)的内部，且电磁板(2)的竖直中心线与线圈(3)的中轴线重合。

3.根据权利要求1所述的一种组合式磁控溅射靶材，其特征在于：所述靶材板(5)共平行设置有4个，且靶材板(5)两两之间通过连接螺杆(7)螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种组合式磁控溅射靶材，其特征在于：所述第一环轨(9)的外侧面与单元面板(10)的内侧面之间紧密贴合，且单元面板(10)关于靶材板(5)的中心呈环状均匀分布，并且相邻单元面板(10)之间面积不等。

5.根据权利要求1所述的一种组合式磁控溅射靶材，其特征在于：所述活动面板(13)通过第二环轨(12)与靶材板(5)构成可滑动结构，且活动面板(13)共设置有两个，并且两个活动面板(13)之间面积相等。

6.根据权利要求1所述的一种组合式磁控溅射靶材，其特征在于：所述嵌块(14)分别与活动槽(16)和环槽(17)之间尺寸相吻合，且活动槽(16)和环槽(17)在外固套(15)的内表面呈栅栏状分布。