[实用新型]液位传感器保护罩有效
| 申请号： | 201820860629.7 | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN208270006U | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 袁林涛;高英哲;叶日铨;刘家桦 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/00 | 分类号： | G01F23/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种液位传感器保护罩。所述液位传感器保护罩，包括壳体；所述壳体围绕而成的腔体用于容纳液位传感器；所述腔体的第一端部为第一开口，所述液位传感器的检测头经所述第一开口与刻蚀液传输管道接触；所述壳体上具有分别贯穿所述壳体的第一孔和第二孔，吹扫气体经所述第一孔进入所述腔体，将所述腔体内的酸性气体吹扫至所述第二孔排出。本实用新型避免了由于酸性刻蚀液的挥发对所述液位传感器的腐蚀，延长了所述液位传感器的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 液位传感器 保护罩 壳体 腔体 本实用新型 开口 半导体制造技术 酸性刻蚀液 传输管道 吹扫气体 第一端部 壳体围绕 使用寿命 酸性气体 位传感器 检测头 刻蚀液 吹扫 挥发 排出 种液 腐蚀 容纳 体内 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种液位传感器保护罩，其特征在于，包括壳体；所述壳体围绕而成的腔体用于容纳液位传感器；所述腔体的第一端部为第一开口，所述液位传感器的检测头经所述第一开口与刻蚀液传输管道接触；所述壳体上具有分别贯穿所述壳体的第一孔和第二孔，吹扫气体经所述第一孔进入所述腔体，将所述腔体内的酸性气体吹扫至所述第二孔排出。
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