[实用新型]液位传感器保护罩有效
| 申请号: | 201820860629.7 | 申请日: | 2018-06-04 |
| 公开(公告)号: | CN208270006U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
| 发明(设计)人: | 袁林涛;高英哲;叶日铨;刘家桦 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号: | G01F23/00 | 分类号: | G01F23/00 |
| 代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 液位传感器 保护罩 壳体 腔体 本实用新型 开口 半导体制造技术 酸性刻蚀液 传输管道 吹扫气体 第一端部 壳体围绕 使用寿命 酸性气体 位传感器 检测头 刻蚀液 吹扫 挥发 排出 种液 腐蚀 容纳 体内 贯穿 | ||
1.一种液位传感器保护罩,其特征在于,包括壳体;所述壳体围绕而成的腔体用于容纳液位传感器;
所述腔体的第一端部为第一开口,所述液位传感器的检测头经所述第一开口与刻蚀液传输管道接触;
所述壳体上具有分别贯穿所述壳体的第一孔和第二孔,吹扫气体经所述第一孔进入所述腔体,将所述腔体内的酸性气体吹扫至所述第二孔排出。
2.根据权利要求1所述的液位传感器保护罩,其特征在于,所述第一孔与所述第二孔位于所述第一开口的相对两端,且所述第一孔与所述第二孔关于所述腔体的轴向对称分布。
3.根据权利要求1所述的液位传感器保护罩,其特征在于,还包括连接部;所述连接部,连接于所述腔体的第一端部,用于与所述刻蚀液传输管道连接。
4.根据权利要求3所述的液位传感器保护罩,其特征在于,所述连接部呈圆弧形,且圆弧的内径与所述刻蚀液传输管道的外径相等,用于与所述刻蚀液传输管道卡合固定。
5.根据权利要求4所述的液位传感器保护罩,其特征在于,所述连接部沿垂直于所述腔体的轴向方向有与所述第一开口对应的第二开口,所述检测头经所述第二开口与所述刻蚀液传输管道接触。
6.根据权利要求1所述的液位传感器保护罩,其特征在于,所述腔体的第二端部为第三开口,所述第一端部与所述第二端部沿所述腔体的轴向方向分布于所述腔体的相对两端;所述液位传感器中与所述检测头相对的一端经所述第三开口延伸出所述腔体。
7.根据权利要求6所述的液位传感器保护罩,其特征在于,所述第三开口的直径与所述液位传感器圆柱形外壳的外径相等,且所述第一开口的直径大于所述第三开口的直径。
8.根据权利要求7所述的液位传感器保护罩,其特征在于,所述腔体包括沿所述腔体的轴向分布且相互连通的第一子腔体和第二子腔体;所述第三开口位于所述第一子腔体的末端,所述第一开口位于所述第二子腔体的末端;所述第一子腔体的内径与所述第三开口的直径相等;所述第二子腔体的内径沿所述第一子腔体指向所述第二子腔体的方向逐渐增大。
9.根据权利要求7所述的液位传感器保护罩,其特征在于,还包括沿所述第三开口的外周设置的密封圈,所述密封圈用于固定所述壳体与所述液位传感器。
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