[实用新型]一种化学气相沉积炉

摘要

一种化学气相沉积炉,它涉及化学沉积技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉，它包含炉底座、炉身、炉盖、炉膛、加热体、保温层、进气管、通孔、导流罩、导气管、沉积室、搁件板、通气孔、基体、出气管，炉身的底部设置有炉底座，炉身的顶部设置有炉盖，炉身内设置有炉膛，炉身与炉膛之间从外至内依次设置有保温层、加热体，炉底座的中间位置设置有进气管，进气管的上部封闭，进气管的侧壁均匀设置有通孔，进气管的上部设置有导流罩，沉积室内设置有数个搁件板，搁件板上均匀设置有通气孔，搁件板上放置有基体，沉积室的顶部设置有出气管。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：它不仅结构简单，设计合理，而且沉积效果好，产品转化率高。

主权项

1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：它包含炉底座(1)、炉身(2)、炉盖(3)、炉膛(4)、加热体(5)、保温层(6)、进气管(7)、通孔(8)、导流罩(9)、导气管(10)、沉积室(11)、搁件板(12)、通气孔(13)、基体(14)、出气管(15)，炉身(2)的底部设置有炉底座(1)，炉身(2)的顶部设置有炉盖(3)，炉身(2)内设置有炉膛(4)，炉身(2)与炉膛(4)之间从外至内依次设置有保温层(6)、加热体(5)，炉底座(1)的中间位置设置有进气管(7)，进气管(7)的上部封闭，进气管(7)的侧壁均匀设置有通孔(8)，进气管(7)的上部设置有导流罩(9)，导流罩(9)的顶部通过导气管(10)与沉积室(11)连通，沉积室(11)内设置有数个搁件板(12)，搁件板(12)上均匀设置有通气孔(13)，通气孔(13)按排分布，搁件板(12)上放置有基体(14)，沉积室(11)的顶部设置有出气管(15)。