[实用新型]一种化学气相沉积炉有效
| 申请号： | 201820840628.6 | 申请日： | 2018-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN208545492U | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 董家海;侯临泽 | 申请（专利权）人： | 浙江诺华陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 刘计成 |
| 地址： | 322100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 进气管 炉身 搁件 化学气相沉积炉 炉膛 炉底座 顶部设置 均匀设置 保温层 沉积室 出气管 导流罩 加热体 通气孔 炉盖 通孔 沉积 化学沉积技术 本实用新型 产品转化率 上部封闭 依次设置 导气管 侧壁 室内 | ||
1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：它包含炉底座(1)、炉身(2)、炉盖(3)、炉膛(4)、加热体(5)、保温层(6)、进气管(7)、通孔(8)、导流罩(9)、导气管(10)、沉积室(11)、搁件板(12)、通气孔(13)、基体(14)、出气管(15)，炉身(2)的底部设置有炉底座(1)，炉身(2)的顶部设置有炉盖(3)，炉身(2)内设置有炉膛(4)，炉身(2)与炉膛(4)之间从外至内依次设置有保温层(6)、加热体(5)，炉底座(1)的中间位置设置有进气管(7)，进气管(7)的上部封闭，进气管(7)的侧壁均匀设置有通孔(8)，进气管(7)的上部设置有导流罩(9)，导流罩(9)的顶部通过导气管(10)与沉积室(11)连通，沉积室(11)内设置有数个搁件板(12)，搁件板(12)上均匀设置有通气孔(13)，通气孔(13)按排分布，搁件板(12)上放置有基体(14)，沉积室(11)的顶部设置有出气管(15)。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述的炉底座(1)为不可拆卸构件，所述的炉盖(3)为可拆卸构件。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述的导流罩(9)呈下部开口的圆筒形结构。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述的搁件板(12)两两之间的间距相等，且放置在搁件板(12)上的基体(14)数量相等。
5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述的出气管(15)包含排气管(15-1)和喇叭状出气口(15-2)，排气管(15-1)置于沉积室(11)的外部，喇叭状出气口(15-2)置于沉积室(11)的内部。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
