[实用新型]基板处理装置

摘要

本实用新型提供一种基板处理装置。以往，在利用气化器的处理工艺中，设置气体探测仪来监测是否发生了气体的泄露，该技术存在改进的余地。本实用新型的基板处理装置具备：处理室，其收纳基板，在该处理室中对基板进行处理；气化部，在气化部将处理液气化来生成处理气体；处理气体供给管路，其与气化部和处理室连通，将处理气体从气化部供给到处理室内；开闭阀，其设置在处理气体供给管路，将处理气体供给管路打开和关闭；以及压力传感器，其设置在处理气体供给管路的、比设置开闭阀的位置靠近气化部的位置处。通过本实用新型，提供一种在利用了气化器的处理工艺中能够更加精确地监测是否发生了气体泄露并兼顾监测多种异常的基板处理装置。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：处理室，其收纳基板，在所述处理室内对所述基板进行处理；气化部，在该气化部中将处理液气化来生成对基板进行处理所需的处理气体；处理气体供给管路，其与所述气化部和所述处理室连通，用于将所述处理气体从所述气化部供给到所述处理室内；开闭阀，其设置在所述处理气体供给管路，用于将所述处理气体供给管路打开和关闭；以及压力传感器，其设置在所述处理气体供给管路的、比设置所述开闭阀的位置靠近所述气化部的位置处，用于探测所述处理气体供给管路内的气体的压力。