[实用新型]一种多晶硅片清洗专用架

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体、固定半筒和活动半筒，所述清洗筒总体由固定半筒和活动半筒组成，所述固定半筒的底面固设有第二立柱和第一立柱，所述第二立柱与第一立柱之间通过滑轨固定连接，所述活动半筒的底部穿过滑轨与固定半筒活动连接，所述固定半筒的顶端设有向外翻折的翻边。本实用新型采用立式结构，占地面积小，空间利用率高，可实现立体旋转，使得清洗筒与清洗液产生相对运动，利用清洗液的冲刷作用提高多晶硅片的清洗速度和清洗质量；上下相邻两个多晶硅片之间通过金属波纹网间隔，既对多晶硅片起到分隔作用，同时保证清洗液与多晶硅片两面的充分接触，无清洗四角。

主权项

1.一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体（1）、固定半筒（2）和活动半筒（5），其特征在于：所述清洗筒总体（1）由固定半筒（2）和活动半筒（5）组成，所述固定半筒（2）的底面固设有第二立柱（12）和第一立柱（7），所述第二立柱（12）与第一立柱（7）之间通过滑轨（8）固定连接，所述活动半筒（5）的底部穿过滑轨（8）与固定半筒（2）活动连接，所述固定半筒（2）的顶端设有向外翻折的翻边（21），且固定半筒（2）的两侧分别设有第一外折边（22）和第二外折边（23），所述活动半筒（5）的两侧分别设有第一内折边（51）和第二内折边（52），所述第二内折边（52）与第二外折边（23）的内翻折面衔接，所述第一内折边（51）与第一外折边（22）的外翻折面衔接，所述固定半筒（2）的内壁上安装有两个安装片（3），两个所述安装片（3）分别安装在固定半筒（2）内壁的顶部和底部，且两个所述安装片（3）之间安装有导轨（13），所述导轨（13）上套设有若干个金属波纹网（4），所述金属波纹网（4）的上方放置有多晶硅片（11），所述固定半筒（2）底部的圆心处安装有轴承（9）。