[实用新型]一种多晶硅片清洗专用架有效
| 申请号： | 201820780124.X | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN208743201U | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 汪伟华 | 申请（专利权）人： | 浙江羿阳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/06 | 分类号： | B08B3/06;B08B3/08;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 陈俊波 |
| 地址： | 313299 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅片 半筒 清洗 立柱 活动半 清洗筒 清洗液 本实用新型 专用架 滑轨 空间利用率 充分接触 分隔作用 活动连接 金属波纹 立式结构 立体旋转 底面 翻边 外翻 冲刷 穿过 保证 | ||
1.一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体（1）、固定半筒（2）和活动半筒（5），其特征在于：所述清洗筒总体（1）由固定半筒（2）和活动半筒（5）组成，所述固定半筒（2）的底面固设有第二立柱（12）和第一立柱（7），所述第二立柱（12）与第一立柱（7）之间通过滑轨（8）固定连接，所述活动半筒（5）的底部穿过滑轨（8）与固定半筒（2）活动连接，所述固定半筒（2）的顶端设有向外翻折的翻边（21），且固定半筒（2）的两侧分别设有第一外折边（22）和第二外折边（23），所述活动半筒（5）的两侧分别设有第一内折边（51）和第二内折边（52），所述第二内折边（52）与第二外折边（23）的内翻折面衔接，所述第一内折边（51）与第一外折边（22）的外翻折面衔接，所述固定半筒（2）的内壁上安装有两个安装片（3），两个所述安装片（3）分别安装在固定半筒（2）内壁的顶部和底部，且两个所述安装片（3）之间安装有导轨（13），所述导轨（13）上套设有若干个金属波纹网（4），所述金属波纹网（4）的上方放置有多晶硅片（11），所述固定半筒（2）底部的圆心处安装有轴承（9）。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗专用架，其特征在于，所述固定半筒（2）和活动半筒（5）均采用304不锈钢材质制成，且固定半筒（2）和活动半筒（5）的筒体部分均布有网孔。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗专用架，其特征在于，所述滑轨（8）沿着固定半筒（2）的圆周延伸，所述滑轨（8）的总长度小于等于固定半筒（2）圆周长度的四分之三。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗专用架，其特征在于，所述翻边（21）上安装有吊环（6），所述吊环（6）共设有两个。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗专用架，其特征在于，所述第二内折边（52）和第一内折边（51）分别与第二外折边（23）和第一外折边（22）均通过螺栓固定在一起，所述螺栓的数量大于等于2。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅片清洗专用架，其特征在于，所述导轨（13）上设有若干个缓冲弹簧（10），所述缓冲弹簧（10）设置在上下相邻两个金属波纹网（4）之间。
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