[实用新型]一种直拉单晶硅炉炉底排气结构有效
申请号: | 201820724107.4 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN208219004U | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 段永兵;汪奇;王楠;王小伟;郑学良;苏义军;谭志高;王军 | 申请(专利权)人: | 新疆晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;刘铁生 |
地址: | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶硅生产装备技术领域,具体涉及一种直拉单晶硅炉炉底排气结构。主要技术方案为:一种直拉单晶硅炉炉底排气结构,包括:炉体和排气孔;所述炉体为圆柱状;所述排气孔设置在所述炉体的底部;所述排气孔沿所述炉体的轴向设置;所述排气孔至少为两个;至少两个所述排气孔以所述炉体的轴线为中心对称分布。采用本实用新型能够使单晶硅炉排气顺畅,减少排气孔的堵塞,提高拉晶速度和质量。 | ||
搜索关键词: | 排气孔 炉体 直拉单晶硅炉 排气结构 本实用新型 中心对称分布 单晶硅生产 单晶硅炉 排气孔沿 轴向设置 装备技术 圆柱状 拉晶 排气 堵塞 | ||
【主权项】:
1.一种直拉单晶硅炉炉底排气结构,其特征在于,包括:炉体和排气孔;所述炉体为圆柱状;所述排气孔设置在所述炉体的底部;所述排气孔沿所述炉体的轴向设置;所述排气孔至少为两个;至少两个所述排气孔以所述炉体的轴线为中心对称分布。
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