[实用新型]一种直拉单晶硅炉炉底排气结构

权利要求书

1.一种直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，包括:炉体和排气孔；

所述炉体为圆柱状；

所述排气孔设置在所述炉体的底部；所述排气孔沿所述炉体的轴向设置；

所述排气孔至少为两个；至少两个所述排气孔以所述炉体的轴线为中心对称分布。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，还包括：排气管；

所述排气管设置在所述排气孔上；与所述排气孔通过螺纹连接，用于导出气体。

3.根据权利要求2所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述排气管通过螺纹调节能够贯穿所述排气孔。

4.根据权利要求3所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述排气管的下端固定地设置有卡座；

所述卡座设置在所述排气管的外壁上；所述卡座被卡接，用于旋转所述排气管。

5.根据权利要求4所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述卡座与所述炉体之间设置有限位构件，用于限制所述排气管伸入所述排气孔的长度。

6.根据权利要求5所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述限位构件为“U”形调节垫；

所述“U”形调节垫插接在所述排气管上，位于所述卡座与所述炉体之间。

7.根据权利要求6所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述排气孔的上部为漏斗状；

所述排气孔的下部为螺纹孔。

8.根据权利要求7所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述炉体上固定地设置有加热器和保温罩；

所述保温罩套设在所述加热器的外围；

所述保温罩与所述加热器之间具有间隙；

所述排气孔能够部分覆盖所述加热器和所述保温罩之间的间隙。

9.根据权利要求8所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述炉体的底部固定地设置有电极；所述电极为四个；四个所述电极均匀地分布在所述炉体的底部；

所述排气孔设置在所述电极之间。

10.根据权利要求9所述的直拉单晶硅炉炉底排气结构，其特征在于，

所述排气管的顶部为倒锥形；所述排气管的顶部在沿轴向向上延伸中，所述排气管的内径逐渐变大。