[实用新型]一种直拉单晶硅炉炉底排气结构

说明书

本实用新型涉及单晶硅生产装备技术领域，具体涉及一种直拉单晶硅炉炉底排气结构。主要技术方案为：一种直拉单晶硅炉炉底排气结构，包括:炉体和排气孔；所述炉体为圆柱状；所述排气孔设置在所述炉体的底部；所述排气孔沿所述炉体的轴向设置；所述排气孔至少为两个；至少两个所述排气孔以所述炉体的轴线为中心对称分布。采用本实用新型能够使单晶硅炉排气顺畅，减少排气孔的堵塞，提高拉晶速度和质量。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产装备技术领域，尤其涉及一种直拉单晶硅炉炉底排气结构。

背景技术

在直拉单晶硅生产工艺中，需要向直拉单晶硅炉中通入氩气进行冷却，并带走拉单晶过程中产生的废气。传统的排气孔开设在炉体的下部，排气孔与炉体的轴向垂直，使从加热器与保温罩之间向下流动的废气，需要有较大的流向改变后，方可进入排气孔，通过排气孔排出。由于直拉单晶硅炉的排气不顺畅，而且排气孔位置温度较低，会有大量杂质冷凝，时间长了会堵塞排气孔，严重影响拉晶的速度和质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种直拉单晶硅炉炉底排气结构，主要目的在于使单晶硅炉排气顺畅，减少排气孔的堵塞，提高拉晶速度和质量。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型的实施例提供一种直拉单晶硅炉炉底排气结构，包括:炉体和排气孔；

所述炉体为圆柱状；

所述排气孔设置在所述炉体的底部；所述排气孔沿所述炉体的轴向设置；

所述排气孔至少为两个；至少两个所述排气孔以所述炉体的轴线为中心对称分布。

进一步地，还包括：排气管；

所述排气管设置在所述排气孔上；与所述排气孔通过螺纹连接，用于导出气体。

进一步地，所述排气管通过螺纹调节能够贯穿所述排气孔。

进一步地，所述排气管的下端固定地设置有卡座；

所述卡座设置在所述排气管的外壁上；所述卡座被卡接，用于旋转所述排气管。

进一步地，所述卡座与所述炉体之间设置有限位构件，用于限制所述排气管伸入所述排气孔的长度。

进一步地，所述限位构件为“U”形调节垫；

所述“U”形调节垫插接在所述排气管上，位于所述卡座与所述炉体之间。

进一步地，所述排气孔的上部为漏斗状；

所述排气孔的下部为螺纹孔。

进一步地，所述炉体上固定地设置有加热器和保温罩；

所述保温罩套设在所述加热器的外围；

所述保温罩与所述加热器之间具有间隙；

所述排气孔能够部分覆盖所述加热器和所述保温罩之间的间隙。

进一步地，所述炉体的底部固定地设置有电极；所述电极为四个；四个所述电极均匀地分布在所述炉体的底部；

所述排气孔设置在所述电极之间。

进一步地，所述排气管的顶部为倒锥形；所述排气管的顶部在沿轴向向上延伸中，所述排气管的内径逐渐变大。

借由上述技术方案，本实用新型直拉单晶硅炉炉底排气结构至少具有下列优点：

单晶硅炉排气顺畅，能够减少排气孔的堵塞，提高拉晶速度和质量。