[实用新型]掩膜板清洁装置有效
| 申请号： | 201820712777.4 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208712411U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 白音必力;孙朴;刘丽国 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜板清洁装置，包括第一清洁结构，用于对掩膜板的第一表面进行清洁；第二清洁结构，用于对掩膜板的第二表面进行清洁，其中，所述第一表面与所述第二表面相对设置，在对掩膜板进行清洁时，所述第一清洁结构和所述第二清洁结构分别位于掩膜板相对的两侧。通过第一清洁结构和第二清洁结构的设置，可以对掩膜板的第一表面进行清洁，也可以对掩膜板的第二表面进行清洁，提升掩膜板的清洁效果，保证产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 清洁结构 第二表面 第一表面 清洁 清洁装置 本实用新型 产品良率 清洁效果 相对设置 保证 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板清洁装置，其特征在于，包括：第一清洁结构，用于对掩膜板的第一表面进行清洁；第二清洁结构，用于对掩膜板的第二表面进行清洁，其中，所述第一表面与所述第二表面相对设置，在对掩膜板进行清洁时，所述第一清洁结构和所述第二清洁结构分别位于掩膜板相对的两侧；所述第一清洁结构包括：第一吹气部，用于向掩膜板的第一表面吹气；第一吸气部，用于对掩膜板的第一表面提供吸力，以吸走所述第一清洁部吹起的异物；所述第二清洁结构包括第二吸气部，用于对掩膜板的第二表面提供吸力，以吸走掩膜板的第二表面的异物。
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