[实用新型]掩膜板清洁装置有效
| 申请号： | 201820712777.4 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN208712411U | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 白音必力;孙朴;刘丽国 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 清洁结构 第二表面 第一表面 清洁 清洁装置 本实用新型 产品良率 清洁效果 相对设置 保证 | ||
1.一种掩膜板清洁装置，其特征在于，包括：
第一清洁结构，用于对掩膜板的第一表面进行清洁；
第二清洁结构，用于对掩膜板的第二表面进行清洁，其中，所述第一表面与所述第二表面相对设置，在对掩膜板进行清洁时，所述第一清洁结构和所述第二清洁结构分别位于掩膜板相对的两侧；
所述第一清洁结构包括：
第一吹气部，用于向掩膜板的第一表面吹气；
第一吸气部，用于对掩膜板的第一表面提供吸力，以吸走所述第一清洁部吹起的异物；
所述第二清洁结构包括第二吸气部，用于对掩膜板的第二表面提供吸力，以吸走掩膜板的第二表面的异物。
2.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第一吹气部包括第一吹气口，所述第一清洁结构还包括第一角度调节部，所述第一角度调节结构用于调节所述第一吹气口与掩膜板第一表面之间的角度。
3.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第一吸气部包括第一吸气口，所述第一吸气口为喇叭状结构，所述第一清洁结构还包括第二角度调节部，所述第二角度调节结构用于调节所述第一吸气口与掩膜板的第一表面之间的角度。
4.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第一清洁结构还包括用于对掩膜板的第一表面提供离子风的第一离子风部，所述第一离子风部与所述第一吹气部同步运动。
5.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第二吸气部与所述第一吹气部正对，以使得所述第二吸气部吸走所述第一吹气部吹向掩膜板的第二表面的异物。
6.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第二吸气部包括第二吸气口，所述第二吸气口呈喇叭状结构，所述第二清洁结构包括第三角度调节结构，所述第三角度调节结构用于调节所述第二吸气口与掩膜板的第二表面之间的角度。
7.根据权利要求1所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第二清洁结构还包括第二吹气部，用于向掩膜板的第二表面吹气，所述第二吸气部还用于吸走所述第二吹气部吹起的异物。
8.根据权利要求7所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第二吹气部包括第二吹气口，所述第二清洁结构还包括第四角度调节结构，所述第四角度调节结构用于调节所述第二吹气口与掩膜板第二表面之间的角度。
9.根据权利要求7所述的掩膜板清洁装置，其特征在于，所述第二清洁结构还包括用于对掩膜板的第二表面提供离子风的第二离子风部，所述第二离子风部与所述第二吹气部同步运动。
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