[实用新型]一种用于基板表面清洁与改质的机台有效
| 申请号： | 201820699240.9 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208159001U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 李玉明;张善勇;万金平 | 申请（专利权）人： | 志圣科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/22 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 任琳;黄为 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于基板表面清洁与改质的机台，该装置包括机台主体，所述机台主体包括腔体、高真空挡板阀以及与高真空挡板阀连接的真空泵；所述腔体的一侧设有匹配器，所述匹配器与一出线电极连接，所述出线电极与设置在所述腔体侧壁上的电极接触柱连接。本实用新型提供的一种用于基板表面清洁与改质的机台，主要通过真空泵和高真空挡板阀配合控制腔体抽气的通断，以保护真空泵的使用寿命和反应时内的清洁不受真空泵回气污染。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 机台 高真空挡板阀 基板表面 改质 腔体 清洁 本实用新型 出线电极 机台主体 匹配器 电极接触 配合控制 腔体侧壁 使用寿命 反应时 柱连接 抽气 回气 通断 污染 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板表面清洁与改质的机台，包括机台主体(1)，其特征在于，所述机台主体(1)包括设置在机台主体(1)中部的用于处理基板的腔体(3)、与腔体(3)依次连接的高真空挡板阀(8)和能使腔体(3)保持真空的真空泵(2)；所述腔体(3)的一侧设有与射频电源(4)连接的匹配器(5)，所述匹配器(5)包括出线电极(51)，所述出线电极(51)与穿过所述腔体(3)侧壁并位于腔体(3)侧壁外侧的电极接触柱(6)一端连接；所述腔体(3)内设有至少两层水平布置且可拆卸的电极层架板(32)，腔体(3)内设有与电极层架板(32)接触的火/地电极铜排(34)，所述火/地电极铜排(34)与所述电极接触柱(6)的另一端连接。
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