[实用新型]一种用于基板表面清洁与改质的机台

权利要求书

1.一种用于基板表面清洁与改质的机台，包括机台主体(1)，其特征在于，所述机台主体(1)包括设置在机台主体(1)中部的用于处理基板的腔体(3)、与腔体(3)依次连接的高真空挡板阀(8)和能使腔体(3)保持真空的真空泵(2)；所述腔体(3)的一侧设有与射频电源(4)连接的匹配器(5)，所述匹配器(5)包括出线电极(51)，所述出线电极(51)与穿过所述腔体(3)侧壁并位于腔体(3)侧壁外侧的电极接触柱(6)一端连接；所述腔体(3)内设有至少两层水平布置且可拆卸的电极层架板(32)，腔体(3)内设有与电极层架板(32)接触的火/地电极铜排(34)，所述火/地电极铜排(34)与所述电极接触柱(6)的另一端连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述电极接触柱(6)上穿过腔体(3)侧壁的部分套接有穿过并固定在腔体(3)侧壁上的绝缘固定部(61)，所述绝缘固定部(61)位于腔体(3)外的一侧的端部上设有通过螺纹与所述电极接触柱(6)配合的固定螺母(62)，所述绝缘固定部(61)与所述腔体(3)之间设有第一密封圈(63)。

3.根据权利要求2所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述绝缘固定部(61)的制作材料为铁氟龙。

4.根据权利要求2所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述电极接触柱(6)在位于所述腔体(3)内的一侧的端部上设有铜帽(65)，所述铜帽(65)与所述绝缘固定部(61)位于腔体(3)内的一侧的端部之间设有第二密封圈(64)。

5.根据权利要求1所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述腔体(3)外设有与其连通的真空压力计(31)。

6.根据权利要求1所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述腔体(3)的上部设有排气栓(35)，所述腔体(3)的下部连接有进气气环(36)。

7.根据权利要求1所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述腔体(3)的侧壁上设有与所述高真空挡板阀(8)连通的抽气口(33)。

8.根据权利要求1所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述真空泵(2)的一侧设有用于输入冷却水冷却真空泵(2)的冷却水管(21)；所述真空泵(2)为干式螺旋真空泵。

9.根据权利要求1所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述机台主体(1)的一侧上设有用于取放基板的仓门(11)和用于控制本装置的人机面板(12)，所述仓门(11)的中部设有圆形观察窗。

10.根据权利要求1或8所述的一种用于基板表面清洁与改质的机台，其特征在于，所述机台主体(1)的上部设有三色指示灯(7)。