[实用新型]一种用于基板表面清洁与改质的机台

说明书

本实用新型公开了一种用于基板表面清洁与改质的机台，该装置包括机台主体，所述机台主体包括腔体、高真空挡板阀以及与高真空挡板阀连接的真空泵；所述腔体的一侧设有匹配器，所述匹配器与一出线电极连接，所述出线电极与设置在所述腔体侧壁上的电极接触柱连接。本实用新型提供的一种用于基板表面清洁与改质的机台，主要通过真空泵和高真空挡板阀配合控制腔体抽气的通断，以保护真空泵的使用寿命和反应时内的清洁不受真空泵回气污染。

技术领域

本实用新型涉及基板生产技术领域，尤其涉及一种用于基板表面清洁与改质的机台。

背景技术

基板是制造PCB的基本材料，一般情况下，基板就是覆铜箔层压板，单、双面印制板在制造中是在基板材料-覆铜箔层压板上，有选择地进行化学镀铜、电镀铜、蚀刻等加工，得到所需电路图形。

因此，在基板的加工生产过程中，如何做到高效率、高品质、低运营成本的对基板表面进行清洁与改质是本领域技术人员的重要研究目标。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于基板表面清洁与改质的机台，主要通过真空泵和高真空挡板阀配合控制腔体抽气的通断，以保护真空泵的使用寿命和反应时内的清洁不受真空泵回气污染；配合设置在腔体内的多层可拆卸的电极层架板，可以完成对基板的批量清洁及加工改质。

为实现上述目的，本实用新型提供一种用于基板表面清洁与改质的机台，包括机台主体，所述机台主体包括设置在机台主体中部的用于处理基板的腔体、与腔体依次连接的高真空挡板阀和能使腔体保持真空的真空泵；所述腔体的一侧设有与射频电源连接的匹配器，所述匹配器包括出线电极，所述出线电极与穿过所述腔体侧壁并位于腔体侧壁外侧的电极接触柱一端连接；所述腔体内设有至少两层水平布置且可拆卸的电极层架板，腔体内设有与电极层架板接触的火/地电极铜排，所述火/地电极铜排与所述电极接触柱的另一端连接。

作为本实用新型的更进一步改进，所述电极接触柱上穿过腔体侧壁的部分套接有穿过并固定在腔体侧壁上的绝缘固定部，所述绝缘固定部位于腔体外的一侧的端部上设有通过螺纹与所述电极接触柱配合的固定螺母，所述绝缘固定部与所述腔体之间设有第一密封圈。

作为本实用新型的更进一步改进，所述绝缘固定部的制作材料为铁氟龙。

作为本实用新型的更进一步改进，所述电极接触柱在位于所述腔体内的一侧的端部上设有铜帽，所述铜帽与所述绝缘固定部位于腔体内的一侧的端部之间设有第二密封圈。

作为本实用新型的更进一步改进，所述腔体外设有与其连通的真空压力计。

作为本实用新型的更进一步改进，所述腔体的上部设有排气栓，所述腔体的下部连接有进气气环。

作为本实用新型的更进一步改进，所述腔体的侧壁上设有与所述高真空挡板阀连通的抽气口。

作为本实用新型的更进一步改进，所述真空泵的一侧设有用于输入冷却水冷却真空泵的冷却水管；所述真空泵为干式螺旋真空泵。

作为本实用新型的更进一步改进，所述机台主体的一侧上设有用于取放基板的仓门和用于控制本装置的人机面板，所述仓门的中部设有圆形观察窗。

作为本实用新型的更进一步改进，所述机台主体的上部设有三色指示灯。

有益效果

与现有技术相比，本实用新型的一种用于基板表面清洁与改质的机台的优点为：

1、本实用新型中，机台主体包括设置在机台主体中部的用于处理基板的腔体、与腔体连接的高真空挡板阀以及与高真空挡板阀连接使腔体保持真空的真空泵，通过真空泵和高真空挡板阀配合控制腔体抽气的通断，以保护真空泵的使用寿命和反应室内的清洁不受真空泵回气污染；