[实用新型]一种蒸发载片装置有效
| 申请号： | 201820696650.8 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208183069U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄涛 | 申请（专利权）人： | 晶能光电（江西）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330096 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸发载片装置，包括：与晶圆片大小匹配的载片底部，及设置在载片底部周围的至少一个第一固定部和至少一个第二固定部；在第一固定部中包括，由载片底部背向蒸镀机延伸的第一支撑件，由第一支撑件端部平行于载片底部向外延伸的第二支撑件及由第二支撑件端部向内延伸的第三支撑件，第三支撑件与第二支撑件之间呈锐角设置；在第二固定部中包括，由载片底部背向蒸镀机延伸的第四支撑件及由第四支撑件端部平行于载片底部向外延伸的第五支撑件。有效解决现有蒸发载片装置会造成晶圆片背面污染或划伤，降低制程良率的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 载片 支撑件 固定部 第二支撑件 载片装置 延伸 蒸发 支撑件端部 蒸镀机 平行 本实用新型 晶圆片背面 大小匹配 锐角设置 有效解决 晶圆片 划伤 良率 向内 制程 污染 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发载片装置，其特征在于，设置于蒸镀机上，所述蒸发载片装置中包括：与晶圆片大小匹配的载片底部，及设置在载片底部周围的至少一个第一固定部和至少一个第二固定部；在第一固定部中包括，由载片底部背向蒸镀机延伸的第一支撑件，由第一支撑件端部平行于载片底部向外延伸的第二支撑件及由第二支撑件端部向内延伸的第三支撑件，所述第三支撑件与第二支撑件之间呈锐角设置；在第二固定部中包括，由载片底部背向蒸镀机延伸的第四支撑件及由第四支撑件端部平行于载片底部向外延伸的第五支撑件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于晶能光电（江西）有限公司，未经晶能光电（江西）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820696650.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：摇摆式金属镀膜的夹具
- 下一篇：一种可调节光学镀膜治具
- 同类专利
- 专利分类
