[实用新型]一种蒸发载片装置有效
| 申请号： | 201820696650.8 | 申请日： | 2018-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN208183069U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄涛 | 申请（专利权）人： | 晶能光电（江西）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330096 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载片 支撑件 固定部 第二支撑件 载片装置 延伸 蒸发 支撑件端部 蒸镀机 平行 本实用新型 晶圆片背面 大小匹配 锐角设置 有效解决 晶圆片 划伤 良率 向内 制程 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发载片装置，其特征在于，设置于蒸镀机上，所述蒸发载片装置中包括：
与晶圆片大小匹配的载片底部，及设置在载片底部周围的至少一个第一固定部和至少一个第二固定部；
在第一固定部中包括，由载片底部背向蒸镀机延伸的第一支撑件，由第一支撑件端部平行于载片底部向外延伸的第二支撑件及由第二支撑件端部向内延伸的第三支撑件，所述第三支撑件与第二支撑件之间呈锐角设置；
在第二固定部中包括，由载片底部背向蒸镀机延伸的第四支撑件及由第四支撑件端部平行于载片底部向外延伸的第五支撑件。
2.如权利要求1所述的蒸发载片装置，其特征在于，所述蒸发载片装置中包括多个第一固定部和至少一个第二固定部，所述第一固定部和第二固定部均匀分布在载片底部的四周，且第一固定部之间相邻设置。
3.如权利要求1或2所述的蒸发载片装置，其特征在于，在所述第一固定部和第二固定部中，第一支撑件和第四支撑件的高度为1-2mm。
4.如权利要求1或2所述的蒸发载片装置，其特征在于，在所述第一固定部和第二固定部中，第二支撑件和第五支撑件的宽度为1-3mm。
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