[实用新型]固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置有效
| 申请号： | 201820695617.3 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN208320042U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 陆平;张溧;徐彬 | 申请（专利权）人： | 江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D7/02 | 分类号： | B01D7/02 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。不仅实现固态MO源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MOCVD外延生长对于固体MO源的要求；可直接分装，防止操作过程中可能存在的二次污染，较好解决MO源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。 | ||
| 搜索关键词： | 手套箱 接收罐 冷却 固体纯化 计重装置 顶面 厢板 本实用新型 操作过程 二次污染 计量问题 记录单元 通讯连接 外延生长 循环连接 波纹管 出料管 颗粒度 冷冻机 台面板 吊接 分装 夹套 凝华 悬浮 计量 采集 悬挂 分析 | ||
【主权项】：
1.固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其特征在于：在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。
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