[实用新型]固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置有效

专利信息
申请号: 201820695617.3 申请日: 2018-05-10
公开(公告)号: CN208320042U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 陆平;张溧;徐彬 申请(专利权)人: 江苏南大光电材料股份有限公司
主分类号: B01D7/02 分类号: B01D7/02
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 王玉国
地址: 215021 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 手套箱 接收罐 冷却 固体纯化 计重装置 顶面 厢板 本实用新型 操作过程 二次污染 计量问题 记录单元 通讯连接 外延生长 循环连接 波纹管 出料管 颗粒度 冷冻机 台面板 吊接 分装 夹套 凝华 悬浮 计量 采集 悬挂 分析
【权利要求书】:

1.固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:在手套箱台面板上安装手套箱,手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接,接收罐置于手套箱中,接收罐通过波纹管连接出料管,手套箱的上方设有顶面厢板,顶面厢板悬挂一计重模块,计重模块与接收罐吊接,使接收罐悬浮于手套箱中,所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。

2.根据权利要求1所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:所述计重模块上吊挂一圆形钢板,圆形钢板上设有吊绳,吊绳与接收罐上的吊钩相连接。

3.根据权利要求2所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:所述圆形钢板上沿周向均匀设有多根吊绳,相对应地,接收罐上沿周向均匀设有多只吊钩,吊绳与对应的吊钩相连接。

4.根据权利要求1所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:手套箱的夹套外层设有保温层夹套。

5.根据权利要求1所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:所述接收罐连接氮气缓冲保护管路。

6.根据权利要求1所述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置,其特征在于:手套箱的夹套中冷却介质为煤油。

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