[实用新型]固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置

说明书

本实用新型涉及固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。不仅实现固态MO源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MOCVD外延生长对于固体MO源的要求；可直接分装，防止操作过程中可能存在的二次污染，较好解决MO源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。

技术领域

本实用新型涉及一种固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，属于化工技术领域。

背景技术

目前，现代生长化合物半导体材料的方法有金属有机化学气相沉积 (MOCVD)、分子束外延(MBE)、化学束外延(CBE))和液相外延(LPE) 等多种技术，特别MOCVD技术，是目前能够进行规模化生产化合物半导体薄膜材料最佳的方法。MOCVD外延过程中所使用最关键的基础材料是纯度大于99.9999％(>6N)的高纯金属有机化合物(简称MO源)， MO源也是CBE外延技术的支撑材料。

高纯MO源是MOCVD技术的关键原材料，但是固态MO源是最难提纯的产品，采用传统的固体提纯方法如重结晶、升华、区域熔融等方法，很难将固态MO源纯度提纯到6N以上。例如采用重结晶需要添加新的溶剂，除了添加溶剂需要提纯以外，还需要进行重结晶后的过滤，蒸出溶剂的过程，操作十分繁琐，质量也不稳定；由于这类固体大多熔点较高，升华大多采用减压升华，条件较苛刻，并且在系统恢复常压的过程极易引入新的杂质；由于固态MO源对空气和水都很敏感，提纯必须在隔绝空气的前提下进行，区域熔融的设备显然无法满足要求，所以一般固体提纯方法都不适用于固态MO源的提纯及工业化生产。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种固态MO 源的固体纯化冷却接收及计重装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，特点是：在手套箱台面板上安装手套箱，手套箱的夹套通过管路与冷冻机循环连接，接收罐置于手套箱中，接收罐通过波纹管连接出料管，手套箱的上方设有顶面厢板，顶面厢板悬挂一计重模块，计重模块与接收罐吊接，使接收罐悬浮于手套箱中，所述计重模块与PLC数据采集分析记录单元通讯连接。

进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，所述计重模块上吊挂一圆形钢板，圆形钢板上设有吊绳，吊绳与接收罐上的吊钩相连接。

进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，所述圆形钢板上沿周向均匀设有多根吊绳，相对应地，接收罐上沿周向均匀设有多只吊钩，吊绳与对应的吊钩相连接。

进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，手套箱的夹套外层设有保温层夹套。

进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，所述接收罐连接氮气缓冲保护管路。

进一步地，上述的固态MO源的固体纯化冷却接收及计重装置，其中，手套箱的夹套中冷却介质为煤油。

本实用新型与现有技术相比具有显著的优点和有益效果，具体体现在以下方面：

本实用新型不仅实现固态MO源的纯化冷却接收，还实现接收重量的计量，采用凝华接收，可以控制接收固体颗粒均匀状，满足MOCVD外延生长对于固体MO源的要求；可以直接分装，防止其它操作过程中可能存在的二次污染，较好解决了MO源的纯度和颗粒度问题；采用计重模块，解决接收量的计量问题。

附图说明

图1：本实用新型的结构示意图。