[实用新型]实现混合气体中SF6连续液态回收的装置

摘要

本实用新型提供一种实现混合气体中SF₆连续液态回收的装置，通过初分离组件初步分离出待分离混合气体中的部分其他气体组分，提高剩余气体中SF₆气体的含量，再经过第一增压装置增压后压入液化容器中，以使SF₆气体在液化容器液化过程中减缓SF₆气体的分压下降的速度，延长连续液化时间；而当液化罐的内部压力达到预设阈值时，通过设置于液化容器上的泄压组件排放液化容器内的一部分气体，避免随着液化过程的进行其他气体组分在液化容器中不断累积而导致SF₆气体的分压降低，从而使得SF₆气体能够持续液化，进而提高SF₆的回收效率。

主权项

1.一种实现混合气体中SF6连续液态回收的装置，其特征在于：包括：初分离组件、第一增压装置、液化容器以及泄压组件；所述初分离组件内设有分离薄膜，其中所述分离薄膜对待分离混合气体中SF6气体的渗透率小于待分离混合气体中其他气体组分；所述初分离组件设置有进气口、出气口以及渗透口，所述初分离组件的进气口通入所述待分离混合气体，所述初分离组件的渗透口输出通过所述分离薄膜得到的第一初分离气体，所述初分离组件的出气口输出未通过所述分离薄膜的第二初分离气体；所述第一增压装置与所述初分离组件的出气口连通，对所述第二初分离气体进行增压后注入所述液化容器中，以使所述第二初分离气体中的SF6气体在所述液化容器中液化；所述泄压组件设置于所述液化容器上，并与所述初分离组件的进气口连通，以在所述液化容器内部压力达到预设阈值时排放所述液化容器内部分气体并由所述初分离组件的进气口注入所述初分离组件。