[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜设备的降温腔室有效
| 申请号： | 201820641459.3 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN208776829U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 金晨;韩彬;李建银 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种用于磁控溅射镀膜设备的降温腔室，用于对位于其内部的工件进行降温，所述降温腔室的内部设置风机、换热器以及导流部件；所述导流部件用于在所述降温腔室内部形成气体流动的循环路径；所述风机设置在所述循环路径上，用于使所述降温腔室内部的气体产生沿着所述循环路径的循环流动；所述换热器设置在所述循环路径上，用于对流经该换热器的热气体进行冷却，形成冷气体；其中，所述冷气体流经所述工件，对所述工件进行降温后形成所述热气体。本实用新型能满足磁控溅射镀膜设备批量生产时对冷却效率的要求，防止基体高温时在大气中被氮化。 | ||
| 搜索关键词： | 降温腔 循环路径 磁控溅射镀膜设备 换热器 本实用新型 导流部件 冷气体 热气体 室内部 氮化 风机设置 冷却效率 内部设置 气体产生 气体流动 循环流动 风机 冷却 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于磁控溅射镀膜设备的降温腔室，用于对位于其内部的工件进行降温，其特征在于，所述降温腔室的内部空间设置风机、换热器以及导流部件；所述导流部件用于在所述降温腔室的内部空间形成气体流动的循环路径；所述风机设置在所述循环路径上，用于使所述降温腔室内部的气体产生沿着所述循环路径的循环流动；所述换热器设置在所述循环路径上，用于对流经该换热器的热气体进行冷却，形成冷气体；其中，所述冷气体流经所述工件，对所述工件进行降温后形成所述热气体。
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