[实用新型]一种溢流高度可调的药液槽

摘要

本实用新型涉及一种溢流高度可调的药液槽，用于硅片加工处理，药液槽包括外槽体和安置在外槽体内的内槽体，内槽体的高度低于外槽体的高度，在内槽体的底部沿其长度方向平行设置有至少三个抬升载具用的支撑机构，其中，在外槽体的侧壁板上设置有多个用于连接槽体与管路的由令，在侧壁板上开有长方形的溢流孔，溢流孔外侧焊接固定有溢流盒，溢流盒为内部具有空腔的盒体，在溢流盒朝向外槽体的内侧板上开有进液口，在溢流盒的外侧板上开有出液口，出液口在竖直方向的高度大于进液的高度。本实用新型在拉低了由令的安装高度、规避管路安装干涉的同时，还可以提升溢流口的高度，起到增加槽体有效容积的目的，解决了安装空间受限的难题。

主权项

1.一种溢流高度可调的药液槽，用于硅片加工处理，其特征在于，包括外槽体和安置在外槽体内的内槽体，所述内槽体的高度低于所述外槽体的高度，在所述内槽体的底部沿其长度方向平行设置有至少三个抬升载具用的支撑机构，其中，在所述外槽体的侧壁板上设置有多个用于连接槽体与管路的由令，在所述侧壁板上开有长方形的溢流孔，所述溢流孔外侧焊接固定有溢流盒，所述溢流盒为内部具有空腔的盒体，在所述溢流盒朝向外槽体的内侧板上开有进液口，在所述溢流盒的外侧板上开有出液口，所述出液口在竖直方向的高度大于所述进液的高度。