[实用新型]一种溢流高度可调的药液槽有效
| 申请号： | 201820631401.0 | 申请日： | 2018-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN208466692U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;罗云雷;陈国才;沈洪旗 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外槽体 溢流盒 药液槽 本实用新型 高度可调 侧壁板 出液口 内槽体 溢流孔 槽体 溢流 安装空间 管路安装 硅片加工 焊接固定 平行设置 有效容积 支撑机构 进液口 连接槽 内侧板 外侧板 溢流口 盒体 进液 空腔 受限 竖直 抬升 外槽 载具 体内 干涉 安置 | ||
【权利要求书】：
1.一种溢流高度可调的药液槽，用于硅片加工处理，其特征在于，包括外槽体和安置在外槽体内的内槽体，所述内槽体的高度低于所述外槽体的高度，在所述内槽体的底部沿其长度方向平行设置有至少三个抬升载具用的支撑机构，其中，在所述外槽体的侧壁板上设置有多个用于连接槽体与管路的由令，在所述侧壁板上开有长方形的溢流孔，所述溢流孔外侧焊接固定有溢流盒，所述溢流盒为内部具有空腔的盒体，在所述溢流盒朝向外槽体的内侧板上开有进液口，在所述溢流盒的外侧板上开有出液口，所述出液口在竖直方向的高度大于所述进液的高度。
2.根据权利要求1所述的溢流高度可调的药液槽，其特征在于，所述溢流盒焊接固定在所述侧壁板的外壁上，且所述进液口对应于所述侧壁板上的溢流孔来设置，所述槽体内的药液经溢流孔流入进液口再从所述溢流盒的出液口流出，用于调整抬高溢流高度。
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