[实用新型]一种溢流高度可调的药液槽

说明书

本实用新型涉及一种溢流高度可调的药液槽，用于硅片加工处理，药液槽包括外槽体和安置在外槽体内的内槽体，内槽体的高度低于外槽体的高度，在内槽体的底部沿其长度方向平行设置有至少三个抬升载具用的支撑机构，其中，在外槽体的侧壁板上设置有多个用于连接槽体与管路的由令，在侧壁板上开有长方形的溢流孔，溢流孔外侧焊接固定有溢流盒，溢流盒为内部具有空腔的盒体，在溢流盒朝向外槽体的内侧板上开有进液口，在溢流盒的外侧板上开有出液口，出液口在竖直方向的高度大于进液的高度。本实用新型在拉低了由令的安装高度、规避管路安装干涉的同时，还可以提升溢流口的高度，起到增加槽体有效容积的目的，解决了安装空间受限的难题。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，特别是涉及一种溢流高度可调的药液槽。

背景技术

在光伏、半导体等产品的自动化连续生产的过程中，常需要对硅片进行清洗或者制绒处理，在药液槽中就需要对药液的高度进行控制，通常在药液槽侧壁板上设置溢流口，在溢流口上方同时会布置很多管路，由令是连接槽体与管路的零件，由于由令的体积比较大，在安装由令的时候往往会遇到干涉，在遇到管路干涉的情况下只有降低由令的安装高度才能实现安装的目的，通常降低安装高度溢流口的高度也会随着下降，这样槽体的有效容积就会减小，这无疑就会影响单词处理硅片的数量，会降低生产效率，同时会带来药液的不必要的浪费。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种溢流高度可调的药液槽，在拉低了由令的安装高度、规避管路安装干涉的同时，还可以提升溢流口的高度，起到增加槽体有效容积的目的，解决了安装空间受限的难题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种溢流高度可调的药液槽，用于硅片加工处理，药液槽包括外槽体和安置在外槽体内的内槽体，所述内槽体的高度低于所述外槽体的高度，在所述内槽体的底部沿其长度方向平行设置有至少三个抬升载具用的支撑机构，其中，在所述外槽体的侧壁板上设置有多个用于连接槽体与管路的由令，在所述侧壁板上开有长方形的溢流孔，所述溢流孔外侧焊接固定有溢流盒，所述溢流盒为内部具有空腔的盒体，在所述溢流盒朝向外槽体的内侧板上开有进液口，在所述溢流盒的外侧板上开有出液口，所述出液口在竖直方向的高度大于所述进液的高度。

进一步地，所述溢流盒焊接固定在所述侧壁板的外壁上，且所述进液口对应于所述侧壁板上的溢流孔来设置，所述槽体内的药液经溢流孔流入进液口再从所述溢流盒的出液口流出，用于调整抬高溢流高度。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的药液槽，通过在常规溢流孔的外侧扣置一个溢流盒，将在高度上低点的溢流孔调整从更高位置的溢流盒的出液口流出，抬高了溢流高度，达到了溢流高度调节的目的，同时，槽体原先所开设的由令及管路等也会受到干涉影响，在起到增加槽体有效容积的目的的同时，有效解决了安装空间受限的难题。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的药液槽的结构示意图;

图2为图1所示药液槽的侧面视图。

其中，附图标记说明如下：

1、外槽体，11、侧壁板，12、溢流孔；

2、内槽体，21、支撑机构；

3、溢流盒，31、进液口，32、出液口。

具体实施方式