[实用新型]一种镀膜装置有效
| 申请号： | 201820595557.8 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN208104531U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘彬 | 申请（专利权）人： | 北京实力源科技开发有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区科技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种应用于真空镀膜的镀膜装置。该装置包括镀膜仓和溅射靶，还包括设置于镀膜仓内的传送装置；传送装置包括传送辊和设置于传送辊上的载物架；载物架包括用于承载被镀工件的金属网和用于支撑金属网的骨架；骨架放置于传送辊上并通过传送辊移动；溅射靶包括上溅射靶和下溅射靶,上溅射靶和下溅射靶分别位于金属网的上下两侧，并对金属网上的被镀工件同时进行溅射。本申请中的一种镀膜装置，被镀工件无需翻转一次镀膜成型，镀膜时间相对现有技术节省一半以上，生产效率更高，且一次镀膜成型节省溅射靶材，成本更低；无需再额外设置被镀工件的翻转结构，降低了镀膜装置的结构复杂度及占用的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶 被镀工件 镀膜装置 传送辊 金属网 镀膜 传送装置 镀膜仓 载物架 成型 本实用新型 结构复杂度 镀膜技术 翻转结构 溅射靶材 上下两侧 生产效率 真空镀膜 翻转 溅射 承载 金属 占用 移动 支撑 申请 应用 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜装置，包括镀膜仓和设置于所述镀膜仓内的溅射靶，其特征在于，还包括设置于所述镀膜仓内的传送装置；所述传送装置包括传送辊和设置于所述传送辊上的载物架；所述载物架包括用于承载被镀工件的金属网和用于支撑金属网的骨架；所述骨架放置于所述传送辊上并通过所述传送辊移动；所述溅射靶包括上溅射靶和下溅射靶,所述上溅射靶和下溅射靶分别位于所述金属网的上下两侧，并对所述金属网上的被镀工件同时进行溅射。
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