[实用新型]一种镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，包括镀膜仓和设置于所述镀膜仓内的溅射靶，其特征在于，还包括设置于所述镀膜仓内的传送装置；

所述传送装置包括传送辊和设置于所述传送辊上的载物架；所述载物架包括用于承载被镀工件的金属网和用于支撑金属网的骨架；所述骨架放置于所述传送辊上并通过所述传送辊移动；

所述溅射靶包括上溅射靶和下溅射靶,所述上溅射靶和下溅射靶分别位于所述金属网的上下两侧，并对所述金属网上的被镀工件同时进行溅射。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述骨架上还包括交叉设置的用于支撑金属网的加强筋，所述加强筋与所述骨架固定连接，所述加强筋将所述金属网分为多个载物区。

3.根据权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述骨架及所述加强筋均为两层，两层所述骨架及所述加强筋固定连接夹紧所述金属网。

4.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述传送辊为多个，多个所述传送辊均匀间隔分布，每个所述传送辊连接有驱动电机，所述传送辊的中心轴线与所述骨架的移动方向相互垂直，所述骨架的底部设有沿其移动方向设置的导轨，所述传送辊上设有用于与所述导轨连接的导槽。

5.根据权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜仓内还包括用于推动被镀工件在所述金属网上移动的推动组件；

所述推动组件包括升降气缸，所述升降气缸位于所述金属网上方与所述镀膜仓固定连接，所述升降气缸的活塞杆的端部设有阻挡块，所述活塞杆能带动所述阻挡块降至所述金属网上阻挡所述工件移动。

6.根据权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于，所述阻挡块的阻挡面为斜面。

7.根据权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述上溅射靶和所述下溅射靶均为多个，多个所述上溅射靶和多个所述下溅射靶等间隔均匀分布，且所述上溅射靶和所述下溅射靶以所述金属网为中心对称设置。

8.根据权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，相邻的两个所述传送辊之间设置一所述下溅射靶。