[实用新型]一种硅片清洗甩干机

摘要

本实用新型涉及半导体制备设备技术领域，且公开了一种硅片清洗甩干机，包括固定箱，所述固定箱的下表面固定连接有保护箱，所述保护箱内壁底部的中心处固定连接有支撑板，所述支撑板的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有托盘，所述固定箱内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架，所述固定架内壁的上表面固定连接有卡块，所述卡块的上表面固定连接有固定块，所述固定块的一侧设置有电热丝，所述固定架内壁的左右两侧均设置有风机，所述固定箱上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管，所述水管的上表面固定连接有水箱。该硅片清洗甩干机具有能够对硅片进行清洗和烘干且具有操作简单和成本较低的优点。

主权项

1.一种硅片清洗甩干机，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)的下表面固定连接有保护箱(2)，所述保护箱(2)内壁底部的中心处固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的上表面固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有托盘(5)，所述固定箱(1)内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架(6)，所述固定架(6)内壁的上表面固定连接有卡块(17)，所述卡块(17)的上表面固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的一侧设置有电热丝(8)，所述固定架(6)内壁的左右两侧均设置有风机(9)，所述固定箱(1)上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管(10)，所述水管(10)的上表面固定连接有水箱(11)，所述水管(10)远离水箱(11)的一端固定连接有喷头(12)，所述托盘(5)右下角处设置有出水管(13)，所述出水管(13)上设置有第一阀门。